[发明专利]一种单向阀及其制备方法

权利要求书

1.一种单向阀，其特征在于，所述单向阀包括依次堆叠的第一基片层、中间层、第二基片层，其中：

所述第一基片层，设置有第一开口；

所述中间层，设置有单向阀体，所述单向阀体包括活塞柱结构以及被所述活塞柱结构间隔的流道，所述活塞柱结构通过活塞弹性膜片与所述中间层相连接，所述单向阀体经刻蚀所述中间层形成；

所述第二基片层，设置有第二开口，所述第二开口可与所述流道连通；

所述活塞弹性膜片具有预应力变形；

所述单向阀活塞柱结构的下表面与所述中间层的下表面的具有高度差。

2.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述活塞柱与所述第二基片层接触的下表面包括凸起部，所述凸起部凸出所述中间层的下表面。

3.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述第二基片层与所述活塞柱接触的上表面包括凸台结构，所述凸台结构凸出所述第二基片层的上表面。

4.根据权利要求1所述的单向阀，其特征在于，所述活塞柱结构的下表面外径大于所述第二开口的尺寸。

5.根据权利要求1或4所述的单向阀，其特征在于，所述活塞柱结构的下表面的外径大于所述活塞柱结构与流道接触部分的内径。

6.一种单向阀的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

选择中间层；

刻蚀所述中间层的第一表面，形成所述单向阀的第一表面结构；

所述单向阀的第一表面结构包括活塞柱结构以及被所述活塞柱结构间隔的流道，所述活塞柱结构通过活塞弹性膜片与所述中间层相连接；

刻蚀所述中间层与所述第一表面相对的第二表面，从所述第二表面刻蚀流道结构；

释放所述活塞弹性膜结构；

选择第一基片层以及第二基片层，分别在所述第一基片层以及所述第二基片层相应的位置打孔，形成所述单向阀的进出口；

组装所述第一基片层、所述中间层、所述第二基片层，组装过程中在所述活塞弹性膜结构中形成预应力以控制所述单向阀的开启；

还包括划片步骤，所述划片步骤切割释放单个单向阀组件。

7.根据权利要求6所述的单向阀的制备方法，其特征在于，所述组装过程中在所述活塞弹性膜结构中形成预应力以控制所述单向阀的开启包括形成所述单向阀活塞柱结构的下表面与所述中间层的下表面的高度差或者在所述第二基片层的与所述中间层贴合的表面形成凸台结构。

8.根据权利要求6所述的单向阀的制备方法，其特征在于，所述刻蚀包括湿法刻蚀或者干法刻蚀。

9.根据权利要求6所述的单向阀的制备方法，其特征在于，所述组装包括键合或者粘接工艺。

10.根据权利要求6所述的单向阀的制备方法，其特征在于，所述活塞柱结构的下表面外径大于所述第二基片层中打孔的尺寸。