[发明专利]光波导多微流道检测系统

权利要求书

1.一种光波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；其特征在于，

所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；

所述微流体包括光波导组和微流道，所述光波导组包括第二数量的光波导，所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；

所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光波导；

所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层延伸进所述衬底；

所述流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；

所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道延伸进所述衬底10～15μm，所述微流道宽度为10-100μm。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括导光结构，用以向所述光波导组提供光源。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述光波导组包括第二数量相互平行的所述光波导，以将光导入所述微流道，所述光波导的宽度为300-600nm。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述第二数量为1，所述微流体对应的整层或大部分所述波导层形成一个片状的所述光波导。

5.根据权利要求2～4所述的系统，其特征在于，所述波导层厚度为150-1000nm。

6.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述导光结构包括干路导光和导光组，所述导光组从所述干路导光中引出，所述导光组与所述光波导组光连接。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述导光组采用分光结构从所述干路导光中引出。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述干路导光包括第一导光，所述导光组包括第二导光，所述第一导光与所述第二导光通过交叉跨层结构交叉。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述交叉跨层结构包括第一导光重叠区和第二导光重叠区；所述第一导光在交叉处断开，并在断开相对的两端形成两个锐角导光端面；所述第二导光在交叉处形成与所述锐角导光端面相匹配的锐角导光引面；所述第一导光重叠区包括所述锐角导光端面和与其相匹配的锐角导光引面，所述第二导光重叠区包括所述锐角导光端面和与其相匹配的锐角导光引面。

10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光波导是耦合光波导；

所述耦合光波导包括入射光栅，以将所述上包层上方的光导入所述耦合光波导直至导入所述微流道；所述入射光栅凸出于所述波导层向上延伸进所述上包层，所述波导层厚度为150-1000nm，所述耦合光波导的宽度为300-600nm。