[实用新型]一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置

说明书

本实用新型公开了一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。本实用新型所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，通过设置温度保护机构，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体，通过设置循环降温装置，在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。

技术领域

本实用新型涉及加速离子泵设备用品领域，特别涉及一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置。

背景技术

溅射离子泵是超高真空获得系统中使用最多的一种真空泵，特点是清洁无油、极限真空度高、运行过程中无机械振动，其原理是利用高压电场将气体分子电离，带正电的气体离子在电场和磁场的作用下螺旋加速运动撞击在钛板上发生溅射并被吸收，电子加速器的运行离不开真空技术，其核心部件加速管是一个高真空部件，其真空的获得和维护都依赖于离子泵，并且加速管工作稳定需要恒温水系统，需控制加速管温度变化范围±0.5℃，正常情况下，离子泵的壳体温度与室温基本一致，如果离子泵壳体温度逐渐高于室温，说明其负载加大，真空有泄露，如果温度过高，应立即关断离子泵电源以免对离子泵造成破坏，离子泵的壳体温度可以直接反映离子泵的工作状态。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。

优选的，所述温度保护机构包括保护外壳，所述保护外壳内腔靠近离子泵泵体的一端侧壁中部和四侧分别固定安装有温度感应器和循环降温装置，所述保护外壳内腔底壁中部固定安装有控制器，所述控制器与温度感应器电性连接，所述控制器上端中部固定安装有切断开关，所述切断开关与离子泵泵体电性连接，所述温度保护机构通过保护外壳与离子泵泵体固定连接在一起。

优选的，所述循环降温装置包括储水仓，所述储水仓左右两侧分别固定安装有循环泵机和冷凝器，所述循环泵机和冷凝器下端共同固定连接有循环水管，且述循环泵机和冷凝器均与控制器电性连接，所述循环降温装置通过储水仓固定安装在保护外壳的内腔侧壁上。

优选的，所述离子泵泵体包括离子泵外壳，所述离子泵外壳内腔底壁中部固定安装有阳极组件，所述离子泵外壳内腔左壁和右壁均固定连接有一组阴极板，所述离子泵外壳外部左端和右端军固定连接有一组永磁体，所述永磁体远离离子泵外壳的一端均固定连接有一组软铁，所述离子泵泵体通过离子泵外壳分别与下固定板和上固定板固定连接在一起。

优选的，所述阳极引线右端与进气口内腔相通，且阳极引线下端穿插过上固定板与离子泵泵体内部相连通。

优选的，所述下固定板前端中部固定连接有固定竖板，所述固定竖板通过螺栓将上固定板与下固定板固定连接在一起。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过设置温度保护机构，在温度保护机构中设置有保护外壳、温度感应器、循环降温装置、控制器和切断开关，温度感应器感应离子泵泵体的温度，将实时温度传达给控制器，控制器设置有相应的温度范围，当温度感应器传达的温度较高时，控制器控制循环降温装置给离子泵泵体进行降温，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体。