[实用新型]平行度检测工具

说明书

本实用新型公开了一种平行度检测工具，涉及靶材背衬管检测技术领域。该平行度检测工具包括：刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测量尺的位置，使所述测量尺移动至便于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差的位置。本实用新型实施例的平行度检测工具能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及靶材背衬管检测技术领域，尤其涉及一种平行度检测工具。

背景技术

现有的薄膜太阳能电池芯片通常采用磁控溅射方式在基板上形成功能性膜层，而靶材是磁控溅射中的溅射源。薄膜太阳能电池芯片制备中采用的靶材通常包括圆柱形的背衬管和涂覆在背衬管外周面的一层合金粉末涂层。而在靶材生产前需要检验靶材背衬管的平行度是否满足生产要求，目前通常采用刀口尺与塞规配合来检测靶材背衬管的平行度，这种检测方法操作不方便，且无法精确测量靶材背衬管的平行度误差值。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种平行度检测工具，用于解决现有技术中靶材背衬管平行度检测不方便，无法精确测量靶材背衬管的平行度误差的问题。

本实用新型实施例的一种平行度检测工具，用于检测靶材背衬管的平行度，包括：

刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；

以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；

所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测量尺的位置，使所述测量尺移动至便于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差的位置。

本实用新型实施例的平行度检测工具在进行待检测靶材背衬管测量时，首先将平行度检测工具垂直放置于待检测靶材背衬管上，即将刀口尺垂直放在待检测背衬管上，保持两端与待检测靶材背衬管贴合，之后移动刀口尺上的检测组件，使测量尺移动至便于测量待检测靶材背衬管的平行度误差的位置，最后通过测量尺测量待检测靶材背衬管的平行度误差。本实用新型实施例的平行度检测工具同时具备了刀口尺和塞规的功能，能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案，并不构成对本实用新型技术方案的限制。

图1为本实用新型的平行度检测工具的一些实施例的立体图；

图2为图1中A区域的放大图；

图3为本实用新型的平行度检测工具的检测组件的一些实施例的爆炸图；

图4为本实用新型的平行度检测工具与待检测靶材背衬管组合的一些实施例的示意图。

附图标记说明：

100-平行度检测工具；

1-刀口尺； 11-直线轨道； 12-刀口尺主体；

13-把手； 111-基板； 112-支撑柱；