[实用新型]准分子灯

说明书

本实用新型提供一种准分子灯，即使是在含有水分的环境下使用的情况下，也能够抑制电极间的短路的发生。该准分子灯具备：发光管，在内部具有封入有含氙的放电用气体的发光空间；第一电极，设置在发光管的外侧面上；第二电极，设置在相对于第一电极在发光管的径向上隔着发光空间而分离的位置；基座，在发光管的管轴方向上的端部处以包围发光管的外侧面的方式形成，呈有底筒状；粘接层，将发光管的外侧面与基座的内侧面固定连结，以无机材料为主要成分。

技术领域

本实用新型涉及准分子灯。

背景技术

过去，提出有使用低压汞灯来净化被处理气体的技术。例如，在下记专利文献1中记载了使用放射波长为185nm、波长为254nm的紫外线的低压汞灯来将被处理气体中的杂质、细菌分解除去的技术。具体而言，记载了通过波长为185nm的紫外线生成臭氧(O₃)气体并由该臭氧气体将杂质、恶臭物质分解的技术。

并且，在下记专利文献2中公开了放射与上述的低压汞灯相比波长短的172nm的光的氙准分子灯。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-204683号公报

专利文献2：日本特开2007-335350号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的课题

如在专利文献2中公开的准分子灯，过去在半导体或液晶面板的制造工序中以将有机物除去为目的而被使用。即，到目前为止准分子灯通常在被严密管理的洁净环境下使用。

本实用新型者们研究了：通过使用该准分子灯取代专利文献1中所述的低压汞灯，将波长更短的光照射于被处理气体来提高VOC(Volatile Organic Compounds:挥发性有机化合物)的分解效率。特别地，在被处理气体中含氧气及水分的情况下，通过照射从准分子灯放射出的波长较短的光来生成反应性较高的O(¹D)或羟基自由基(·OH)，因此期待对于被处理气体中含有的VOC具有较高的分解性能。

然而，当在含有水分的环境下使用准分子灯时，该水分可能附着于准分子灯的发光管，在外部电极和内部电极之间发生短路。特别地，由于在准分子灯的发光管的端部附近，外部电极与内部电极的间隔距离较短，因而认为上述的问题容易发生。

作为对于该课题的第一对策，考虑将外部电极与内部电极之间的距离(电极间距离)增大的方法。然而，在原理上，准分子灯为了发光需要产生电解质势垒放电(有时也称作“准分子放电”)。当增大电极间距离时放电开始电压变高，其结果是首先放电变得困难。即，增大电极间距离的方法存在限制。

作为对于上述课题的其他对策，考虑使用透光性部件覆盖准分子灯自身的方法。然而，对于透过波长为172nm这样的短波长的光的材料存在限制(例如合成玻璃)，在使用这样的材料构成覆盖准分子灯的管体的情况下制造成本升高。另外，即使使用这样的材料构成了管体，从发光管放射出的光的30％～50％也会被管体吸收从而光的利用效率下降，其结果是难以实现较高的分解效率。

本实用新型鉴于上述课题，目的在于提供一种准分子灯，特别地，即使是在含有水分的环境下使用的情况下，也能够抑制在电极间短路的发生。

用于解决课题的技术方案

本实用新型的准分子灯的特征在于，具备：

发光管，在内部具有封入有放电用气体的发光空间；

第一电极，设置在所述发光管的外侧面上；

第二电极，设置在相对于所述第一电极在所述发光管的径向上隔着所述发光空间而分离的位置；