[发明专利]NTO透明导电基板及其制备方法

说明书

本发明提供一种NTO透明导电基板及其制备方法，包括：透明支撑基底、增透层、阻隔层及NTO导电层，其中，增透层及阻隔层设置于透明支撑基底和NTO导电层之间。通过对氧化锡进行氮掺杂形成NTO导电层，提高氧化锡的导电性能；另外，NTO具有氧化锡质地硬且抗腐蚀能力强的优点，且不需要进行尾气处理，制备过程环保且经济；最后，于透明支撑基底及NTO导电层之间设置增透层及阻隔层，一方面阻隔层可有效阻隔透明支撑基底中的元素向NTO导电层扩散，通过阻隔层能有效保证NTO导电层的纯度，另一方面通过增透层与阻隔层之间的折射率匹配，可有效提高整个结构的透光性能。

技术领域

本发明涉及透明导电基板领域，特别是涉及一种可用作电极材料的NTO透明导电基板及 其制备方法。

背景技术

具有高科技含量的碲化镉、铜铟镓硒等薄膜太阳能产线顺利建成并实现产业化。作为薄 膜太阳能电池的透光面及电极，TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃是薄膜太阳能电池 生产过程中必不可少的原材料。并且，TCO作为透明导电电极还在液晶显示器、光探测器、 平板显示器中有着非常广泛的应用。

目前市场上TCO主要有三种类型，分别是ITO(In₂O₃：Sn)、AZO(ZnO：Al)、FTO(SnO₂：F)。然而，现有的透明导电材料存在着价格较高、大规模生产的成品率低、硬度及抗腐蚀能力较差、需要进行尾气处理等问题。

因此，本领域的技术人员致力于开发一种经济型、环境友好型透明导电基板，使其在降 低成本的同时减少对环境的污染。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种NTO透明导电基板及其制备 方法，用于解决现有技术中的透明导电基板的价格较高、硬度及抗腐蚀能力较差、需要进行 尾气处理等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种NTO透明导电基板，所述导电基板至 少包括：

透明支撑基底、增透层、阻隔层及NTO导电层，其中，所述增透层及所述阻隔层设置于 所述透明支撑基底和所述NTO导电层之间。

可选地，所述NTO导电层为四方相晶体材料膜层。

可选地，所述透明支撑基底包括由玻璃基底、陶瓷基底及塑料基底构成群组中的一种或 两种以上形成的单层或叠层。

可选地，所述透明支撑基底为超白浮法玻璃。

可选地，所述增透层的材料包括由氧化锡(SnO₂)、氧化钛(TiO₂)、掺氟的氧化锡(SnO₂： F)及掺氮的氧化锡(SnO₂：N)构成群组中一种或者两种以上的混合物。

可选地，所述阻隔层的材料包括由氧化硅(SiO₂)、氧化锗(GeO₂)、氧化钛(TiO₂)、氮化硅(Si₂N₃)、氮化锗(Ge₂N₃)及氮化钛(Ti₂N₃)构成群组中一种或者两种以上的混合物。

可选地，所述透明支撑基底的厚度介于0.5mm～10mm之间，所述增透层的厚度介于10nm～100nm之间，所述阻隔层的厚度介于10nm～100nm之间，所述NTO导电层的厚度介于50nm～1000nm之间。

本发明还提供一种NTO透明导电基板的制备方法，所述制备方法至少包括步骤：

S1：提供透明支撑基底；

S2：于所述透明支撑基底上形成增透层及阻隔层，其中，所述增透层形成于所述阻隔层 的上表面或所述阻隔层形成于所述增透层的上表面；