[发明专利]三维恒力并联柔性微定位平台

权利要求书

1.三维恒力并联柔性微定位平台，用于在三维空间内的指定方向提供恒力输出，包括主框架以及位于所述主框架内的力输入机构、力输出机构、用于连接所述力输入机构和所述力输出机构并传导作用力的恒力机构，其特征在于：

所述恒力机构包括并联板簧机构以及与所述并联板簧机构分别连接的X向恒力机构、Y向恒力结构、Z向恒力机构，所述X向恒力机构、Y向恒力机构、Z向恒力机构之间相互正交，所述X向恒力机构包括相互串联的第一负刚度机构和第一板簧柔性结构，所述Y向恒力机构包括相互串联的第二负刚度机构和第二板簧柔性结构，所述Z向恒力机构包括相互串联的第三负刚度机构和第三板簧柔性结构；

所述第一板簧柔性结构、所述第二板簧柔性结构均为一个折叠式板簧柔性铰链，所述第三板簧柔性结构为对称设置的两个折叠式板簧柔性铰链；

所述第一负刚度机构、所述第二负刚度机构均为一个倾斜板簧柔性结构，所述第三负刚度机构为对称设置的两个倾斜板簧柔性结构。

2.根据权利要求1所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述力输入机构包括X轴方向设置的第一驱动电机、Y轴方向设置的第二驱动电机、Z轴方向设置的第三驱动电机。

3.根据权利要求2所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述第一板簧柔性结构具有第一驱动开口，所述第一驱动电机的驱动部位于所述第一驱动开口内并且与所述第一板簧柔性结构的从动部相抵接，所述第一板簧柔性结构与所述第一负刚度机构相抵接，所述第一负刚度机构与所述并联板簧机构连接。

4.根据权利要求2所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述第二板簧柔性结构具有第二驱动开口，所述第二驱动电机的驱动部位于所述第二驱动开口内并且与所述第二板簧柔性结构的从动部相抵接，所述第二板簧柔性结构与所述第二负刚度机构相抵接，所述第二负刚度机构与所述并联板簧机构连接。

5.根据权利要求2所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述第三板簧柔性结构具有第三驱动开口，所述第三驱动电机的驱动部位于所述第三驱动开口内并且与所述第三板簧柔性结构的从动部相抵接，所述第三板簧柔性结构与所述第三负刚度机构相抵接，所述第三负刚度机构与所述并联板簧机构连接。

6.根据权利要求1至5任一项所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述并联板簧机构包括五个相互连接的并联板簧式柔性铰链。

7.根据权利要求2所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述第一驱动电机、所述第二驱动电机、所述第三驱动电机均为线性音圈电机。

8.根据权利要求6所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：

所述X向恒力机构还包括第四负刚度机构，所述第四负刚度机构的一端与所述主框架的一侧连接，所述第四负刚度机构的另一端与所述并联板簧机构连接；所述Y向恒力机构还包括第五负刚度机构，所述第五负刚度机构的一端与所述主框架的另一侧连接，所述第五负刚度机构的另一端与所述并联板簧机构连接。