[发明专利]转子及鲁氏帮浦

说明书

本发明公开了一种转子与鲁氏帮浦。转子用于鲁氏帮浦。转子包含中心轴、叶轮以及披覆层,叶轮环绕中心轴,披覆层覆盖在叶轮上,其中披覆层的材质与叶轮的材质不同。本发明还公开了一种包含上述转子的鲁氏帮浦。

技术领域

本发明涉及一种转子及帮浦,且特别是有关一种用于鲁氏帮浦的转子及鲁氏帮浦。

背景技术

随着科技产业的发展,真空技术被广泛使用,举例来说,半导体工艺中的薄膜沉积、干刻蚀、离子植入或微影工艺,均需在真空环境下进行,连带带动了真空帮浦(又称真空泵)的发展。

在众多真空帮浦中,由于干式真空帮浦在进气、压缩、排气等行程中,转子运动所扫过的行程并不需要油脂来润滑或密封,可避免油气回流而可维持较高的洁净度,故被大量应用于科技产业。

干式真空帮浦依据其所使用转子型态的不同,可分为鲁氏帮浦、爪式帮浦、螺旋式帮浦等,其中鲁氏帮浦因工作特性稳定,结构简单、制造容易、操作方便、维修周期长而引起广泛注意,鲁氏帮浦的工作原理,乃是通过两个转子以相反方向旋转而压缩空气,并将气体由低压端带至高压端以达到抽真空的效果。

公知鲁氏帮浦的转子,包含中心轴与叶轮,中心轴与叶轮均使用高强度的金属材质制造,借以提供所需的结构强度。然而,使用高强度的金属材料会导致整体重量过重。此外,叶轮的轮廓线(又称型线)是由一组特定曲线组合而成,在制造叶轮时通常先预铸一个块材,再通过加工除去大部分材料并铣出轮廓线(例如使用球刀铣),其具有浪费材料、加工时间长以及不利于量产的缺点。

发明内容

本发明的目的是在提供一种转子及鲁氏帮浦,以解决上述问题。

依据本发明的一实施方式是提供一种转子,用于鲁氏帮浦,转子包含中心轴、叶轮以及披覆层,叶轮环绕中心轴,披覆层覆盖在叶轮上,其中披覆层的材质与叶轮的材质不同。

依据前述的转子,其中披覆层与叶轮可以埋入注射成型(insert molding)的方式一体成型。

依据前述的转子,其中披覆层的密度可小于中心轴的密度,披覆层的材质可为塑料。

依据前述的转子,其中叶轮的密度可小于中心轴的密度。叶轮可以挤压(extrusion)的方式制成。叶轮的材质可为含铝金属。叶轮可包含中空部。叶轮可为两叶型、三叶型或五叶型。

依据前述的转子,其中中心轴的材质可为中碳钢或合金钢。

依据本发明的另一实施方式是提供一种鲁氏帮浦,包含帮浦本体以及前述的转子,帮浦本体其内形成有帮浦腔室、入口及出口,入口与出口均连通于帮浦腔室,转子设置在帮浦腔室内,且转子用以将气体由入口排放至出口。

本发明的转子,通过披覆层的材质与叶轮的材质不同,有利于使用其他方式制造叶轮,进而有利于降低材料成本、缩短加工时间并有利于量产。为使本发明的上述特征和优点更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附图示做详细说明如下。

附图说明

图1是依据本发明一实施方式的转子的立体示意图。

图2是依据本发明另一实施方式的鲁氏帮浦的剖视示意图。

图3是图2中鲁氏帮浦的另一剖视示意图。

图4是依据本发明又一实施方式的鲁氏帮浦的剖视示意图。

其中,附图标记说明如下:

110、210、310:转子

111、211、311:中心轴

112、212、312:叶轮

113、213、313:披覆层

114、214、314:中空部