[实用新型]有检测、报警功能的碱洗槽盖板

说明书

本实用新型公开有检测、报警功能的碱洗槽盖板，包括盖板，盖板包括盖板框和转动盖，转动盖通过转动柱连接盖板框上的转轴固定座；盖板框包括电机、锁芯、电磁感应器、转轴固定座，盖板框一侧固定设置有电机，电机底部输出轴固定连接有锁芯，锁芯下方设置有电磁感应器，盖板框远离电磁感应器一侧表面均匀设置有转轴固定座；转动盖一侧由上到下固定设置有气泵机构、锁死机构和报警机构，气泵机构包括气泵和气管，气泵顶部输出端固定连接气管。本实用新型通过设置电磁感应器和报警机构，使得盖板未闭合时报警感应块无法与电磁感应器接触，电磁感应器将信号传送至信息处理板，信息处理板将报警信号传送至音频转换器，音频转换器通过喇叭发出报警信号。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿式制程设备，具体涉及有检测、报警功能的碱洗槽盖板。

背景技术

在半导体制程中，去毛边机每个工序的槽体都有透明的、易于观察进程的盖板。由于碱洗槽是使用碱性溶液对QFN零件进行清洗，所以必须保证工作环境是密闭的，以防碱性溶液飞溅造成人身伤害。目前碱洗槽盖板是否盖好需要人工检查，所以急需要一种有检测、报警功能的碱洗槽盖板。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供有检测、报警功能的碱洗槽盖板，通过设置电磁感应器和报警机构，使得盖板未闭合时报警感应块无法与电磁感应器接触，电磁感应器将信号传送至信息处理板，信息处理板将报警信号传送至音频转换器，音频转换器通过喇叭发出报警信号。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

有检测、报警功能的碱洗槽盖板，包括盖板，所述盖板包括盖板框和转动盖，所述转动盖通过转动柱连接盖板框上的转轴固定座；所述盖板框包括电机、锁芯、电磁感应器、转轴固定座，所述盖板框一侧固定设置有电机，所述电机底部输出轴固定连接有锁芯，所述锁芯下方设置有电磁感应器，所述盖板框远离电磁感应器一侧表面均匀设置有转轴固定座；所述转动盖一侧由上到下固定设置有气泵机构、锁死机构和报警机构，所述气泵机构包括气泵和气管，所述气泵顶部输出端固定连接气管；所述锁死机构包括锁块固定板、弹簧限位板、第一转动轴、弹簧、锁块滑动座、锁块、转动杆、第二转动轴、固定杆和伸缩板，所述锁块固定板顶部一侧固定设置弹簧限位板，所述锁块固定板远离弹簧限位板一侧顶部和底部均固定设置有第一转动轴，所述弹簧限位板一端固定设置有弹簧，所述弹簧远离弹簧限位板一侧固定连接有锁块滑动座，所述锁块滑动座一侧固定设置有锁块，所述第一转动轴同轴转动连接有转动杆，所述转动杆一侧固定贯穿设置有第二转动轴，所述第二转动轴表面设置有固定杆，所述固定杆之间固定连接有伸缩板；所述报警机构，所述报警机构包括电磁感应板、信息处理板和音频转换器，所述报警机构一端表面固定设置有电磁感应板，所述电磁感应板的输出端固定连接信息处理板的输入端，所述信息处理板的输出端固定连接音频转换器的输入端。

进一步的，所述锁块固定板表面固定设置有滑槽，所述锁块滑动座底部与滑槽滑动连接。

进一步的，所述转动盖外圈固定设置有气垫，所述气垫输入端固定连接气管。

进一步的，所述转动盖远离气泵机构一侧均匀设置有转动柱。

进一步的，所述音频转换器的输出端固定连接喇叭。

进一步的，所述转动盖朝向锁块一侧固定设置有锁块孔，所述锁块孔与锁块设置于同一水平线。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型的有检测、报警功能的碱洗槽盖板，通过设置电磁感应器和报警机构，使得盖板未闭合时报警感应块无法与电磁感应器接触，电磁感应器将信号传送至信息处理板，信息处理板将报警信号传送至音频转换器，音频转换器通过喇叭发出报警信号。

(2)通过设置电机、锁芯和锁死机构，使得盖板关闭时弹簧推动滑块滑动座，滑块滑动座上的锁块被推入锁块孔内，同时电机输出轴带动锁芯旋转，锁块与锁芯呈锁死状态，防止盖板闭合后盖板再次被打开。