[实用新型]流体驱动系统

权利要求书

1.一种流体驱动系统，其特征在于，包括：

致动单元；

压电元件，包括电性隔绝的第一电极及第二电极；

信号传导层，包括第一传导区及第二传导区，所述压电元件的所述第一电极导通于所述信号传导层的所述第一传导区，所述压电元件的所述第二电极导通于所述信号传导层的所述第二传导区；

平面单元，具有至少一孔，其中所述压电元件、所述信号传导层及所述平面单元分别位于所述致动单元的同一侧；以及

凸出部，位于所述致动单元与所述平面单元之间，所述凸出部对应于所述孔且朝向所述孔凸出。

2.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，所述压电元件具有通孔，所述凸出部穿设于所述通孔并固定至所述致动单元。

3.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，所述凸出部被压电元件环绕。

4.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，所述致动单元、所述压电元件、所述信号传导层及所述平面单元依序堆叠。

5.根据权利要求4所述的流体驱动系统，其特征在于，所述压电元件具有相对的第一面与第二面，所述第一电极及所述第二电极分别位于所述第一面与所述第二面，所述压电元件的所述第一面朝向所述致动单元，所述致动单元为导体，所述压电元件的所述第一电极通过所述致动单元导通于所述信号传导层的所述第一传导区。

6.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，还包括：

框体，所述致动单元包括第一中央区、第一周围区及连接于所述第一中央区及所述第一周围区的多个第一连接区，所述凸出部及所述压电元件固定于所述致动单元的所述第一中央区，所述框体固定于所述致动单元的所述第一周围区。

7.根据权利要求6所述的流体驱动系统，其特征在于，所述框体在朝向于所述平面单元的表面共平面于所述压电元件在朝向于所述平面单元的表面。

8.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，所述致动单元包括第一中央区、第一周围区及连接于所述第一中央区及所述第一周围区的多个第一连接区，所述第一周围区在朝向于所述平面单元的表面共平面于所述压电元件在朝向于所述平面单元的表面。

9.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，还包括：

传导单元，位于所述压电元件与所述平面单元之间，所述传导单元包括对应于所述压电元件的第二中央区及位于所述第二中央区之外的第二周围区，所述第一传导区形成于所述传导单元的所述第二中央区，所述第二传导区形成于所述传导单元的所述第二周围区。

10.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，还包括：

承载件，配置于所述致动单元的第一周围区与所述平面单元之间，所述承载件朝向所述平面单元的表面共平面于所述凸出部在朝向于所述平面单元的表面。

11.根据权利要求10所述的流体驱动系统，其特征在于，还包括：

传导单元，位于所述压电元件与所述平面单元之间，所述承载件配置于所述传导单元与所述平面单元之间。

12.根据权利要求11所述的流体驱动系统，其特征在于，所述承载件与所述传导单元为一体。

13.根据权利要求1所述的流体驱动系统，其特征在于，所述致动单元、所述信号传导层、所述压电元件及所述平面单元依序堆叠。

14.根据权利要求13所述的流体驱动系统，其特征在于，还包括：

传导单元，所述第一传导区与所述第二传导区形成于所述传导单元上，所述传导单元位于所述致动单元与所述压电元件之间，所述压电元件包括朝向所述传导单元的第一面，所述第一电极及所述第二电极位于所述第一面。