[实用新型]一种新型的液刀系统及蚀刻设备

说明书

本实用新型公开了一种新型的液刀系统，包括主液刀及副液刀；主液刀包括第一喷口，副液刀包括第二喷口；所述第一喷口方向与基板呈向下倾斜角度设置，第二喷口方向与基板呈垂直方向角度布置；在相对于基板的传送方向上，副液刀第二喷口喷射方向与基板的交点位于主液刀第一喷口喷射方向与基板的交点的后方。本实用新型还公开了包括上述一种液刀系统的蚀刻设备。通过在主液刀旁边设置副液刀，主液刀向基板喷出与基板呈向下倾斜方向的蚀刻液，副液刀向基板喷出与基板呈垂直方向角度的蚀刻液。副液刀向基板喷出的液体与基板形成液帘。液帘的缓冲效果会吸收主液刀喷淋的液体打在基板上而造成液滴飞溅，使液滴平缓的落下。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻技术领域，尤其涉及一种新型的液刀系统及蚀刻设备。

背景技术

在触摸屏及液晶显示屏的制作过程中，需要对玻璃基板进行蚀刻。蚀刻工艺利用蚀刻液对基板表面的金属膜层进行腐蚀，从而去掉部分金属，以便形成图案，例如走线图案，或者视区的ITO金属网格。

蚀刻工艺中喷淋式蚀刻被广泛的应用，在喷淋式蚀刻时，基板被传送装置沿水平方向传送。在基板上方，设置有多个喷嘴，喷嘴朝基板上垂直地喷淋蚀刻液。在蚀刻过程中的前端，基板进入喷淋段之前，还设置有液刀。液刀的喷口倾斜地向基板上喷出蚀刻液，使从喷嘴喷淋到基板上的蚀刻液更加均匀。

但是不可避免的，经常有蚀刻液的液滴在撞击到基板上后向还未进入蚀刻段的部分基板上飞溅。飞溅的蚀刻液液滴会造成部分基板区域在未进入蚀刻之前就已经有液滴沾染。在之后进入蚀刻时，被液滴沾染的部分再次蚀刻、实际的蚀刻时间会相对延长。由于被液滴沾染部分实际蚀刻时间与其它的基板区域不同，因此提前被液滴沾染的部分会形成明显的液滴状痕迹，造成相对大的反射率差异，视觉明显。特别是对反射率较高的金属膜层蚀刻时，这种现象会造成严重的金属异色。如果金属膜层只是用来做走线，金属异色因为不影响功能，加上走线部分不在视区内，因此不用刻意管控。但是如果金属膜层用来做视区的ITO金属网格团，就会影响到外观质量，造成产品外观不良。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型的液刀系统及蚀刻设备，可以改善由于飞溅的蚀刻液液滴而造成的产品金属异色外观不良。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种新型的液刀系统，包括主液刀及副液刀；主液刀包括第一喷口，副液刀包括第二喷口；所述第一喷口与基板呈向下倾斜角度设置，第二喷口与基板呈垂直方向角度布置；在相对于基板的传送方向上，第二喷口的液体出口方向与基板的交点位于第一喷口液体出口方向与基板的交点的后方。

本实用新型通过在主液刀旁边设置副液刀，主液刀向基板喷出与基板呈向下倾斜方向的蚀刻液，副液刀向基板喷出与基板呈垂直方向角度的蚀刻液。副液刀向基板喷出的液体与基板形成液帘。在相对于基板的传送方向上，液帘的位置在主液刀喷淋的液体落在基板上的位置之后。液帘的缓冲效果会吸收主液刀喷淋的液体打在基板上而造成液滴飞溅，使液滴平缓的落下。避免了飞溅的蚀刻液液滴溅射到还未进入蚀刻段的部分基板上而造成的产品金属异色外观不良。

进一步地，所述副液刀第二喷口距离基板的距离小于主液刀第一喷口距离基板的距离。

进一步地，在相对于基板的传送方向上，副液刀位于主液刀的后方。

进一步地，所述第一喷口与基板的夹角为30-75°。

进一步地，所述副液刀第二喷口处的液体压力小于主液刀第一喷口处的液体压力。

进一步地，所述液刀系统还包括与主液刀连接的第一液体传输管道，与副液刀连接的第二液传输管道.

进一步地，所述第二液传输管道上还设置有副液刀液体压力控制装置。

进一步地，所述液刀系统还包括副液刀位置调整装置。