[发明专利]一种确定电子束能谱的方法及系统

权利要求书

1.一种确定电子束能谱的方法，其特征在于，包括：

获取束流偏转装置中的束流偏转系统的多个第一偏转电流；

基于每个第一偏转电流，确定第一电子束进入所述束流偏转装置后，从所述束流偏转装置的输出端射出的每个第二电子束的能量区间，包括：

基于所述每个第一偏转电流，确定所述束流偏转系统产生的多个磁场强度；

基于所述束流偏转系统产生的多个磁场强度和偏转半径，确定所述每个第二电子束的能量区间的中心能量；

基于所述每个第二电子束的能量区间的中心能量和能量区间宽度，确定所述每个第二电子束的能量区间；

获取所述每个第二电子束照射靶材后流过所述靶材的靶电流；其中，所述靶材用于被所述每个第二电子束照射产生放射线；

基于多个第二电子束的能量区间以及对应的多个靶电流，确定所述第一电子束的能谱。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述多个第二电子束的能量区间以及对应的多个靶电流，确定所述第一电子束的能谱还包括：

基于所述多个第二电子束的能量区间，将所述第一电子束的能量区间划分为多个能量子区间；

基于所述多个第二电子束的能量区间对应的靶电流，确定每个能量子区间对应的靶电流；

基于所述每个能量子区间对应的靶电流，确定所述第一电子束的能谱。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

获取所述束流偏转系统的第二偏转电流；

基于所述第二偏转电流，确定所述第一电子束进入所述束流偏转装置后，从所述束流偏转装置的输出端射出的第三电子束的能量区间；

基于所述第三电子束的能量区间和所述第一电子束的能谱，确定所述第三电子束的能谱。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述束流偏转装置至少包括：

所述束流偏转系统和能量缝；

所述能量缝设置于所述束流偏转系统里面；

在所述每个第一偏转电流下，所述能量缝用于使一定能量区间内的电子穿过。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述每个第二电子束照射靶材后流过所述靶材的靶电流还包括：

逐渐改变所述束流偏转系统的第一偏转电流，

依次获取所述每个第二电子束照射靶材后流过所述靶材的所述靶电流。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个第二电子束的能量区间连续分布。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，任意第二电子束的能量区间的起点和终点中的一个与至少一个在先产生的第二电子束的能量区间的起点或终点重合。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，至少一个第二电子束照射靶材后流过所述靶材的靶电流为0，且其它的第二电子束至少符合下述两种情况之一：(1)第二电子束的能量区间与所述靶电流为0对应的第二电子束的能量区间至少部分重合；(2)第二电子束的能量区间的起点和终点中的一个与在先产生的任意第二电子束的能量区间的起点或终点重合。

9.一种确定电子束能谱的系统，其特征在于，包括：

第一获取模块，用于获取束流偏转装置中的束流偏转系统的多个第一偏转电流；

第一确定模块，用于基于每个第一偏转电流，确定第一电子束进入所述束流偏转装置后，从所述束流偏转装置的输出端射出的每个第二电子束的能量区间，包括：

基于所述每个第一偏转电流，确定所述束流偏转系统产生的多个磁场强度；

基于所述束流偏转系统产生的多个磁场强度和偏转半径，确定所述每个第二电子束的能量区间的中心能量；

基于所述每个第二电子束的能量区间的中心能量和能量区间宽度，确定所述每个第二电子束的能量区间；

第二获取模块，用于获取所述每个第二电子束照射靶材后流过所述靶材的靶电流；其中，所述靶材用于被所述每个第二电子束照射产生放射线；

第二确定模块，用于基于多个第二电子束的能量区间以及对应的多个靶电流，确定所述第一电子束的能谱。