[发明专利]晶圆撕膜机

权利要求书

1.一种晶圆撕膜机，其特征在于，包括：

一机架，具有一工作平台；

一治具盘，借一固定座设置于该工作平台上，而于该治具盘表面具有一晶圆嵌槽；

一滑座，设置于一对滑轨而跨置于该治具盘上方，且将一滑移动力连接该滑座，该对滑轨与该滑移动力沿着该治具盘的外侧缘而固定于该工作平台上，并于该滑座设有数支压制滚筒，各该压制滚筒贴靠于该治具盘表面；

一卷膜滚筒，设置于该滑座而设于位置居中的该压制滚筒上方，该卷膜滚筒外端具有一齿轮，该齿轮与一齿条搭配，该齿条沿着该治具盘的外侧缘而固定于该工作平台上；以及

一操控单元，设置于该机架而控制该滑移动力的动作。

2.根据权利要求1所述的晶圆撕膜机，其特征在于，进一步将位于该滑座中前段的压制滚筒之一设计成活动式压制滚筒，该活动式压制滚筒借一枢设架与一回弹扣件设置于该滑座。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆撕膜机，其特征在于，所述晶圆嵌槽为一圆形晶圆嵌槽或/及一方形晶圆嵌槽。

4.根据权利要求3所述的晶圆撕膜机，其特征在于，所述治具盘表面相对该晶圆嵌槽周缘具有至少一晶圆掀取槽。

5.根据权利要求4所述的晶圆撕膜机，其特征在于，所述治具盘前端表面相对该晶圆嵌槽周缘具有一拨膜槽。

6.根据权利要求5所述的晶圆撕膜机，其特征在于，所述滑移动力为单轴机器人。