[发明专利]一种DUV宽光谱无胶起偏器

说明书

本发明涉及一种DUV宽光谱无胶起偏器，包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层；所述BBO晶体按一定角度切割，并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面，两片BBO的光轴相互平行；所述中间折射率层分别与两个BBO晶体光胶合。本发明可工作于波长220nm‑1000nm之间，偏振光消光比大于30dB。

技术领域

本发明涉及起偏器设计领域，特别是一种DUV宽光谱无胶起偏器。

背景技术

随着现代光学技术的发展，各种各样的偏光器件应用越来越多，常见的偏光器件有格兰-汤姆逊，格兰-泰勒,格兰-激光，玻璃型及塑料基的偏光器件，玻璃型及塑料器件消光比差，对高功率激光及紫外光的抵抗能力差，而格兰棱镜通常采用的晶体材料有YVO₄或天然冰洲石组成，虽然可以工作在很宽的波长范围内如400nm-2000nm之间，但由于材料特性，在紫外波段小于350nm以下透光性能差，限制其不能应用于紫外波段，虽然也有基于BBO材料的格兰棱镜，但通常只能达到紫外很小一段波长范围内，未见可以使用在220nm-1000nm范围的格兰棱镜。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提出一种DUV宽光谱无胶起偏器，可工作于波长220nm-1000nm之间，偏振光消光比大于30dB。

本发明采用以下方案实现：一种DUV宽光谱无胶起偏器，包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层；所述BBO晶体按一定角度切割，并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面，两片BBO的光轴相互平行；所述中间折射率层分别与两个BBO晶体光胶合。

较佳的，本发明两个BBO晶体之间无有机物胶，保证深紫外具有良好的透光性能。

进一步地，所述中间折射率层采用SiO₂材料、Mgf₂材料或熔石英玻璃材料，其透光波段为215nm-2000nm。

进一步地，所述中间折射率层为SiO₂膜层或Mgf₂膜层。

进一步地，所述中间折射率层采用深紫外透过性能好的熔石英玻璃层，透光波段从215nm-2000nm；所述熔石英玻璃层的厚度为1-10000um。

进一步地，所述DUV宽光谱无胶起偏器的入射界面o光全反射，e光透射，光线入射角度为62.48度-64.37度，即棱镜切割角度为27.52度-25.63度，其中透光波段为220nm-1000nm，透过率大于50％，在波长220nm-970nm之间消光比为1000:1。

进一步地，所述BBO晶体采用α-BBO材料或β-BBO材料，其透光波段为215nm-2000nm。

进一步地，所述中间折射率层与两个BBO晶体光胶合后采用紫外固化胶或热固化胶密封，使得光胶界面与空气隔离，同时此辅助胶增强两片之间的结合强度。

进一步地，所述第一BBO晶体与第二BBO晶体与空气接触的面，镀有单层的SiO₂膜、Mgf₂膜或二者组成的复合多层膜，实现从215nm-1000nm的宽带增透膜。

特别的，本发明在真空条件或空气条件下放气量小，不对光学表面造成污染。