[发明专利]一种DUV宽光谱无胶起偏器在审
| 申请号： | 201811103430.0 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109116461A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 张妹玉 | 申请（专利权）人： | 闽江学院 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中间折射率层 宽光谱 起偏器 无胶 偏振光 胶合 光轴平行 角度切割 入射光 贴合处 消光比 波长 光轴 平行 | ||
1.一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：包括第一BBO晶体、第二BBO晶体、以及设置在两个BBO晶体贴合处的中间折射率层；所述BBO晶体按一定角度切割，并且BBO晶体的光轴平行于入射光表面，两片BBO的光轴相互平行；所述中间折射率层分别与两个BBO晶体光胶合。
2.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述中间折射率层采用SiO2材料、Mgf2材料或熔石英玻璃材料，其透光波段为215nm-2000nm。
3.根据权利要求2所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述中间折射率层为SiO2膜层或Mgf2膜层。
4.根据权利要求2所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述中间折射率层采用深紫外透过性能好的熔石英玻璃层，透光波段从215nm-2000nm；所述熔石英玻璃层的厚度为1-10000um。
5.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述DUV宽光谱无胶起偏器的入射界面o光全反射，e光透射，光线入射角度为62.48度-64.37度，即棱镜切割角度为27.52度-25.63度，其中透光波段为220nm-1000nm，透过率大于50%，在波长220nm-970nm之间消光比为1000:1。
6.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述BBO晶体采用α-BBO材料或ß-BBO材料，其透光波段为215nm-2000nm。
7.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述中间折射率层与两个BBO晶体光胶合后采用紫外固化胶或热固化胶密封，使得光胶界面与空气隔离。
8.根据权利要求1所述的一种DUV宽光谱无胶起偏器，其特征在于：所述第一BBO晶体与第二BBO晶体与空气接触的面，镀有单层的SiO2膜、Mgf2膜或二者组成的复合多层膜，实现从215nm-1000nm的宽带增透膜。
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