[发明专利]一种软膜替换及纳米压印一体设备

说明书

本发明公开了一种软膜替换及纳米压印一体设备，包括软膜复制工位；压印工位，若干个独立的压印工位用于进行纳米压印，压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区；层叠架，压印工位设为两排，层叠架与其中一排压印工位齐平，层叠架上具备晶圆存放区、废品软膜存放区；取料机械手，设置在两排平行的压印工位中间，取料机械手将软膜存放区上的软膜与载盘存放区上的载盘配合，并将配合后软膜及载盘送入压印工位，取料机械手将晶圆在压印工位、晶圆存放区之间转移，同时也将压印工位上的废品软膜转移至层叠架上的废品软膜存放区。采用此发明实现新旧软膜替换，设备成本低，各部件间布局合理，运作效率高，降低人员工作强度。

技术领域

本发明涉及纳米压印设备，具体涉及一种软膜替换及纳米压印一体设备。

背景技术

纳米压印生产过程中会应用到软膜，软膜在整个过程中反复利用的，但是软膜也具备一定的使用寿命，如再压印50次或100次后其自身功能便不满足需求，需要用新的软膜进行替换，以保证压印的持续进行。

发明内容

本发明要解决的问题在于提供一种软膜替换及纳米压印一体设备，实现新旧软膜替换，设备成本低，各部件间布局合理，运作效率高，降低人员工作强度。

为解决上述问题，本发明提供一种软膜替换及纳米压印一体设备，为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是；

一种软膜替换及纳米压印一体设备，包括：软膜复制工位；压印工位，若干个独立的压印工位用于进行纳米压印，压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区；层叠架，压印工位设为两排，层叠架与其中一排压印工位齐平，层叠架上具备晶圆存放区、废品软膜存放区；取料机械手，设置在两排平行的压印工位中间，取料机械手将软膜存放区上的软膜与载盘存放区上的载盘配合，并将配合后软膜及载盘送入压印工位，取料机械手将晶圆在压印工位、晶圆存放区之间转移，同时也将压印工位上的废品软膜转移至层叠架上的废品软膜存放区。

采用上述技术方案的有益效果是：取料机械手本身是用来供晶圆转移的必不可少的部件，新旧软膜的替换也可以利用现有的取料机械手，设备改造成本低。人的操作空间与机械手通过层叠架隔离，安全性高，需要人员操作的工位被集中于一局部，使得人员站立在某处原地便可以操作所有工序，降低劳动强度，提高工作效率。压印工位排布方式合理、进一步缩减取料机械手的运行路程，提高效率，空间利用率高。废模存放区与晶圆存放区共用一个层叠架，物料集中、设备成本低。

作为本发明的进一步改进，软膜复制工位由若干个独立矩形阵列的软膜复制工位构成，矩形阵列的软膜复制工位的中部设有脱膜机械手，脱膜机械手将软膜从软膜复制工位上脱离。

采用上述技术方案的有益效果是：脱膜机械手高效得对软膜进行拿取，提高效率，避免人工拿取的低效率与对软膜的损伤。

作为本发明的更进一步改进，脱模机械手为水平面内垂直设置的两个直线模组构成。

采用上述技术方案的有益效果是：矩形阵列的软膜复制工位，对应一个XY方向由度设备来脱模，设备简单可靠。

作为本发明的又进一步改进，软膜复制工位与压印工位数量相同，均为六个。

采用上述技术方案的有益效果是：六个的数量便于设备安排，其工作的节拍也适宜人员的工作强度。

作为本发明的又进一步改进，晶圆存放区设在层叠架的上半段，并分为待加工晶圆存放区、成品晶圆存放区，废品软膜存放区设于层叠架的下半段。

采用上述技术方案的有益效果是：待加工晶圆存放区、成品晶圆的进出口相靠近，方便人员定点操作，晶圆设于上半段，也便于人员目视观察其数量与品质。

作为本发明的又进一步改进，层叠架的下半段的中部设有朝向两侧的红外线传感器，红外线传感器将废品软膜存放区左右对分。