[发明专利]用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

权利要求书

1.一种配给设备，包括：

框架，所述框架包括构台，所述构台被配置为在X轴方向和Y轴方向提供移动，所述构台包括梁，所述梁被配置为在Y轴方向上移动以获得Y轴移动，所述构台还包括安装在所述梁上的运输装置，所述运输装置被配置为在X轴方向上沿所述梁的长度移动；

支撑部，所述支撑部被联接到所述框架，所述支撑部被配置以在所述构台下方支撑至少一个电子衬底；

第一配给器和第二配给器，所述第一配给器和所述第二配给器被联接到所述运输装置并且均被配置为配给材料，所述第一配给器和所述第二配给器中的一个配给器通过自动调整机构联接到所述运输装置；

成像器，所述成像器被联接到所述框架和所述构台中的一个，所述成像器被配置为捕捉电子衬底的第一图案和第二图案的至少一张图像，所述第二图案与所述第一图案相同；以及

控制器，所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器、所述自动调整机构和所述成像器的操作，

其中所述自动调整机构被配置为在配给操作期间在X轴方向上移动所述第一配给器和所述第二配给器中的所述一个配给器，以调整所述第一配给器和所述第二配给器之间的间距，

其中所述自动调整机构包括线性轴承、安装部块和第一线性驱动电动机组件，所述线性轴承被固定到所述运输装置，所述安装部块被配置为沿着所述线性轴承跨设并且被联接到所述第一配给器和所述第二配给器中的所述一个配给器，所述第一线性驱动电动机组件被配置以沿所述线性轴承移动所述安装部块，

其中所述控制器被配置为使用所述至少一张图像以验证所述第一图案和所述第二图案是否被正确地放置在所述支撑部上，并且

其中如果所述第一图案和所述第二图案未被正确地放置，所述控制器被配置为在所述配给操作继续进行时控制所述自动调整机构来动态地定位所述第一配给器和所述第二配给器中的所述一个配给器。

2.如权利要求1所述的配给设备，其中所述成像器被配置为定位所述电子衬底的至少一部分，并且所述控制器被配置为计算所述电子衬底的所述至少一部分的相对偏移和旋转。

3.如权利要求2所述的配给设备，其中所述控制器被配置为基于已知参考点的图像来计算所述相对偏移，所述已知参考点的图像由所述成像器拍摄。

4.如权利要求1所述的配给设备，其中基于已知的配置，所述电子衬底的至少一部分的相对偏移在设置所述配给设备期间确定。

5.如权利要求1所述的配给设备，其中所述配给操作包括使得所述第一配给器和所述第二配给器在所述电子衬底上配给材料。

6.如权利要求5所述的配给设备，进一步包括所述第一配给器和所述第二配给器在所述电子衬底上同时配给材料。

7.如权利要求1所述的配给设备，其中所述第一线性驱动电动机组件包括滚珠丝杠驱动的线性致动器，所述滚珠丝杠驱动的线性致动器通过机械地联接的电动机被驱动。

8.如权利要求1所述的配给设备，其中所述自动调整机构进一步配置为沿Y轴方向移动所述第一配给器和所述第二配给器中的所述一个配给器，并且所述自动调整机构包括固定到所述安装部块的第一托架，所述第一托架在与所述线性轴承的方向垂直的方向上延伸，所述自动调整机构还包括第二托架，所述第二托架被固定到所述第一配给器和所述第二配给器中的所述一个配给器并且被配置以沿所述第一托架跨设。

9.如权利要求8所述的配给设备，其中所述自动调整机构进一步包括第二线性驱动电动机组件，所述第二线性驱动电动机组件被配置以沿所述第一托架移动所述第二托架。

10.如权利要求9所述的配给设备，其中所述第二线性驱动电动机组件包括滚珠丝杠驱动的线性致动器，所述滚珠丝杠驱动的线性致动器通过机械地联接的电动机被驱动。