[发明专利]一种热电复合材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201810363889.8 | 申请日： | 2018-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN108539002A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 何宇;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 佛山市领卓科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/16 | 分类号： | H01L35/16;H01L35/18;H01L35/34;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热电材料 多孔膜 表面形成纳米 热电复合材料 热电特性 热电系数 制备工艺 复合材料 基底 溅射 填充 制备 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种热电材料，其特征在于：该热电材料是一种复合材料，由多孔膜与A2B3-xFex构成。
2.一种如权利要求1所述的热电材料，其特征在于：所述多孔膜包含但不限于高分子膜、氧化物膜。
3.一种如权利要求1所述的热电材料，其特征在于：所述多孔膜的孔径小于100纳米。
4.一种如权利要求1所述的热电材料，其特征在于：所述多孔膜厚度小于20微米。
5.一种如权利要求1所述的热电材料，其特征在于：其制备方法包括如下: 将清洁处理后的多孔膜置于磁控溅射样品室，所用溅射靶材为块体A2B3-xFex，选择合适的溅射真空度、样品室温度与工作气体进行溅射沉积，沉积功率为10～20W，样品支架旋转速度为60～100转/分钟。
6.一种如权利要求1所述的热电材料，其特征在于：X的范围为0～0.2。
7.一种如权利要求5所述的热电材料的制备方法，其特征在于：所述样品室温度为100℃～150℃。
8.一种如权利要求5所述的热电材料的制备方法，其特征在于：所述溅射真空度高于1× 10-3Pa。
9.一种如权利要求5所述的热电材料的制备方法，其特征在于：所述工作气体为0.4～0.8Pa的高纯氩气。
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