[发明专利]一种激光调值高精度霍尔传感器及其激光调值方法

权利要求书

1.一种激光调值高精度霍尔传感器，其特征在于：包括霍尔片、温度调节电路、增益调节电路和补偿调节电路；

所述温度调节电路包括缓冲跟随器一、缓冲跟随器二、可调电阻RIa、电阻RIb和运算放大器A1，所述可调电阻RIa和电阻RIb的数量均为两个；所述缓冲跟随器一的输入端和缓冲跟随器二的输入端分别与霍尔片的两个电压输出端连接，所述缓冲跟随器一的输出端通过可调电阻RIa、电阻RIb与运算放大器A1的正输入端连接，所述缓冲跟随器二的输出端通过可调电阻RIa、电阻RIb与运算放大器A1的负输入端连接，运算放大器A1的输出端为霍尔传感器的输出端；

所述增益调节电路包括电阻RF、可调电阻R33和可调电阻R32，所述电阻RF的输入端与运算放大器A1的负输入端连接，输出端通过可调电阻R33接地，所述可调电阻R32的输入端与电阻RF的输出端连接，输出端与运算放大器A1的输出端连接；

所述补偿调节电路包括可调电阻R30、可调电阻R31、电阻RX和电阻RF，所述可调电阻R30的输入端与霍尔片的电压输入端连接，输出端通过可调电阻R31接地，所述电阻RX的输入端与可调电阻R30的输出端连接，输出端通过电阻RF与运算放大器A1的正输入端连接。

2.根据权利要求1所述的激光调值高精度霍尔传感器，其特征在于：所述补偿调节电路设定霍尔传感器的传输函数为：

其中：Vout-霍尔传感器的输出电压；

V_H-缓冲跟随器一或缓冲跟随器二的输出电压；

RI-补偿调节电路的等效输入电阻；

Vs-电源电压。

3.根据权利要求1或2所述的激光调值高精度霍尔传感器，其特征在于：所述可调电阻R32、可调电阻R33、可调电阻R30、可调电阻R31和可调电阻RIa均为CrSi薄膜电阻。

4.根据权利要求3所述的激光调值高精度霍尔传感器，其特征在于：所述霍尔片位于传感器芯片中心。

5.根据权利要求4所述的激光调值高精度霍尔传感器，其特征在于：所述电阻RF与霍尔片材料相同。

6.基于权利要求1至5任一所述的激光调值高精度霍尔传感器的激光调值方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)激光修调可调电阻RIa和电阻RIb，获得相应的温度系数；

2)霍尔片输出TP1-TP2短路，激光调整缓冲跟随器一和缓冲跟随器二的尾电阻，使得缓冲跟随器一和缓冲跟随器二的驱动电流一致，在没有磁场时，缓冲输出电压Vos在TP3-TP4处为0，确保缓冲跟随器一和缓冲跟随器二工作在完全对称状态下；

3)TP3-TP4短路，TP1-TP2处于开路状态，测量运算放大器A1内的尾电阻，确保运算放大器A1失调电压为0mv，确保差动运放的失调为零；

4)激光修调可调电阻R32、可调电阻R33，获得需要的灵敏度；

5)激光修调可调电阻R30、可调电阻R31，获得需要的零偏；

6)将霍尔传感器封装。