[发明专利]涂敷装置和涂敷方法

说明书

本发明提供一种能够提高基片的位置控制性的涂敷装置。该涂敷装置，其使功能液的液滴在基片的着液位置在主扫描方向和副扫描方向上移动，在基片上描绘功能液的描绘图案，包括：利用气体的风压使基片浮起在规定的高度的台部；液滴排出部，其向浮起在距台部规定的高度的基片滴注功能液的液滴；主扫描方向移动部，其保持浮起在距台部规定的高度的基片并且使该基片在主扫描方向上移动；和副扫描方向移动部，其使液滴排出部相对于浮起在距台部规定的高度的基片在副扫描方向上移动，在反复进行主扫描方向移动部使基片在主扫描方向上移动并且液滴排出部滴注液滴的处理期间，副扫描方向移动部使液滴排出部在副扫描方向上移动。

技术领域

本发明涉及涂敷装置和涂敷方法。

背景技术

在现有技术中，已知作为利用有机EL(Electroluminescence)发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用了有机发光二极管的有机EL显示器，不仅具有薄型轻质并且低耗电量的优点，而且还具有在响应速度、视场角、对比度等方面优越等的优点。因此，近年来，作为新一代的平板显示器(FPD)引人注目。

有机发光二极管包括：形成在基片上的阳极；以阳极为基准设置于基片的背面侧的阴极；和设置在阳极与阴极之间的有机层。有机层例如从阳极侧向阴极侧去依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层。在发光层等的形成中，可以使用喷射方式的涂敷装置。

专利文献1中记载的涂敷装置包括：对工件以喷射方式进行描绘的多个功能液滴喷头；搭载工件的工件台；和使工件台在主扫描方向上移动的线性电机。工件台具有吸附工件的吸附板和用于对设置于吸附板的工件的位置在θ轴方向进行θ修正的θ板等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－177262号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

在现有技术中，保持基片的工件台重，使基片移动的驱动力大，对基片的位置控制性有改善的余地。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够提高基片的位置控制性的涂敷装置。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述课题，根据本发明的一个方面，提供一种涂敷装置，其使基片的功能液的液滴的着液位置在主扫描方向和副扫描方向上移动，在上述基片上描绘上述功能液的描绘图案，上述涂敷装置的特征在于，包括：

利用气体的风压使上述基片浮起在规定的高度的台部；

液滴排出部，其向浮起在距上述台部规定的高度的上述基片滴注上述功能液的液滴；

主扫描方向移动部，其保持浮起在距上述台部规定的高度的上述基片并且使上述基片在上述主扫描方向上移动；和

副扫描方向移动部，其使上述液滴排出部相对于浮起在距上述台部规定的高度的上述基片在上述副扫描方向上移动，

反复进行上述主扫描方向移动部使上述基片在上述主扫描方向上移动并且上述液滴排出部滴注上述液滴的处理期间，上述副扫描方向移动部使上述液滴排出部在上述副扫描方向上移动。

发明效果

根据本发明的一个方面，提供一种能够提高基片的位置控制性的涂敷装置。

附图说明

图1是表示一个实施方式的有机EL显示器的平面图。

图2是表示一个实施方式的有机EL显示器的主要部分的截面图。