[发明专利]出光方法及出光装置

说明书

本发明公开一种出光方法及出光装置。该出光方法用于将一激光光束依序通过至少一偏移组件与一聚焦组件，且通过调控机构作动该偏移组件，令该激光光束产生偏移，以于钻孔制作工艺中，该激光光束能依需求快速产生可控制及任意形状的开孔。

技术领域

本发明涉及一种出光方法及其装置，尤其是涉及一种出光路径的调整方法及其装置。

背景技术

激光微孔加工技术目前已广泛应用于许多产业，如半导体制作工艺检测用的探针卡、透明硬脆材料、引擎喷油孔、金属切孔等制作工艺。目前激光加工设备所制作出的微孔为锥形圆孔，故需配合钻孔模块，以具备可控制锥角(taper angle)的能力而产生不同需求的微孔形状，如探针卡的矩形微孔加工、强化玻璃的直孔、引擎喷嘴的锥孔等。

然而，激光加工设备往往受限于激光光束绕射特性，而无法任意调整微孔锥角，致使该钻孔模块不具备灵活的锥孔加工能力，因而无法满足单一激光钻孔制作工艺中需局部调变成直通孔或锥孔的需求，例如，在矩形孔洞的边缘侧的倾斜度与转角处的倾斜度不同时的状况。

再者，在现有技术中，是将玻璃平板或棱镜式绕圆模块(Trepan)通过中空马达带动旋转，但仅能完成圆形路径偏移，且该中空马达的转速过低(小于4,000rpm)，致使产能过低，故不仅无法满足矩形锥孔或其它孔形制作工艺所需的高速且可调控的偏移路径的条件，且其钻孔尺寸也受限，例如，无法制作直径小于50微米(μm)的孔洞。

因此，如何克服现有技术的种种缺点，实为目前各界亟欲解决的技术问题。

发明内容

鉴于上述现有技术的种种缺失，本发明公开一种出光方法及出光装置，能依需求快速产生可控制及任意形状的开孔。

本发明的出光方法，包括：将一光束依序通过至少一偏移组件与一聚焦组件；以及通过调控机构作动该偏移组件，以令该光束产生偏移，其中，该调控机构通过可编程逻辑控制器规划该偏移组件的位移路径，以带动该偏移组件位移，并调控该光束的偏移路径。

本发明还公开一种出光装置，包括：偏移组件，其供一光束通过；聚焦组件，其接收来自该偏移组件的光束；以及调控机构，其作动该偏移组件，以令该光束产生偏移，其中，该调控机构通过可编程逻辑控制器规划该偏移组件的位移路径，以带动该偏移组件位移，并调控该光束的偏移路径。

前述的出光方法中，该偏移组件的位移路径为移动距离变化或角度偏转变化。

前述的出光方法及出光装置中，该出光装置为激光装置，且该光束为激光。

前述的出光方法及出光装置中，该光束的偏移为平行位移。

前述的出光方法及出光装置中，该光束用以形成开孔。例如，该可编程逻辑控制器依据光束移动距离与该开孔壁面倾斜角度规划该偏移组件的位移路径。

前述的出光方法及出光装置中，该偏移组件包括：分光镜；波片，其设于该分光镜上方；以及反射镜，其设于该波片上方，使该光束从该分光镜入射，经该分光镜反射后，经过该波片，再经由该反射镜反射而再次穿过该波片，的后由该分光镜反射而出。

前述的出光方法及该出光装置中，该调控机构具有振镜马达，以偏转该偏移组件于一偏转角度，且该光束的偏移距离与该偏转角度两者之间为相互关联。

前述的出光方法及出光装置中，该光束经过两组该偏移组件，且其中一组该偏移组件用以令该光束于X方向上产生偏移，而另一组该偏移组件用以令该光束于Y方向上产生偏移，其中，该X方向与该Y方向为相互垂直。

前述的出光方法及出光装置中，还包括将通过该偏移组件的光束通过扫描组件导引至该聚焦组件。例如，该扫描组件与该可编程逻辑控制器用以调控该光束的偏移路径，其可为圆形、方形、三角形、多角形或曲折的路径，以应用于复杂元件的激光制作工艺。