[实用新型]多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，包括顶加热器（1）和侧加热器（2），其特征在于：所述侧加热器（2）包括均呈方形的上层侧加热器（201）和下层侧加热器（202），所述上层侧加热器（201）与顶加热器（1）并联组成上层并联单元，所述下层侧加热器（202）独立控制，所述顶加热器（1）与上层侧加热器（201）之间设有连接的若干上层侧三向吊臂（3），所述下层侧加热器（202）与上层侧加热器（201）之间设有连接的若干下层侧吊臂（4），所述下层侧吊臂（4）与上层侧加热器（201）在交叠位置设有用以隔离两者的绝缘垫片。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）的相电流I_T与上层侧加热器（201）的相电流I_S-UP的关系满足0.3I_T<I_S-UP<2I_T，所述下层侧加热器（202）的相电流随热场调整。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）顶部与上层侧加热器（201）顶部之间的垂直距离d1>10mm，所述上层侧加热器（201）中心与下层侧加热器（202）顶部之间的垂直距离d2>0mm。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述上层并联单元采用三相三电极连接、两相两电极连接、三向四电极连接中的任意一种连接方式。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述下层侧加热器（202）采用三相三电极连接、两相两电极连接、三相四电极连接中的任意一种连接方式。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述上层并联单元与下层侧加热器（202）之间采用三相三电极连接、两相两电极连接、三向四电极连接中的任意一种连接方式。

7.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述绝缘垫片采用氧化锆陶瓷片、氮化硼陶瓷片、氧化铝陶瓷片中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）包括呈旋转对称的三片蛇形电阻片（1a），所述上层侧加热器（201）与下层侧加热器（202）均包括四片蛇形侧加热器单体（2a）和四片蛇形连接角板（2b），所述蛇形侧加热器单体（2a）具有均匀的蛇形周期，所述蛇形连接角板（2b）的蛇形周期与蛇形侧加热器单体（2a）的单个周期相同，所述蛇形连接角板（2b）连接相邻蛇形侧加热器单体（2a），所述上层侧三向吊臂（3）设置三个且剖面呈“7”字型，其水平凸出部位的两端分别连接相邻蛇形电阻片（1a），其竖直延伸部位的末端连接上层侧加热器（201）的蛇形侧加热器单体（2a）。

9.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）包括呈旋转对称的三片蛇形电阻片（1a），所述上层侧加热器（201）与下层侧加热器（202）均包括四片板状侧加热器单体（2c）和四片折弯连接角板（2d），所述折弯连接角板（2d）连接相邻板状侧加热器单体（2c），所述上层侧三向吊臂（3）设置三个且剖面呈“7”字型，其水平凸出部位的两端分别连接相邻蛇形电阻片（1a），其竖直延伸部位的末端连接上层侧加热器（201）的板状侧加热器单体（2c）。

10.根据权利要求8或9所述的多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述下层侧吊臂（4）设置三个且剖面呈“7”字型，其竖直延伸部位贴近上层侧加热器（201）处设有支承槽（4a），所述绝缘垫片呈“L”型并贴附于支承槽（4a）内，所述上层侧加热器（201）卡设于支承槽（4a）与绝缘垫片内侧。