[实用新型]一种凹槽式真空探针检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空高低温检测装置及仪器领域，具体涉及一种凹槽式真空探针检测装置。

背景技术

真空探针检测装置是指在负压状态下的反应腔体内，使用高精度真空探针对物品表面进行长度、高度以及外观3D表面测量的一种检测装置，主要应用于高、低温、真空环境下的特殊测，透过反应腔体上方的观察窗可以观察所测量的物品，以便对所测量的物品进行精确测量，还可观察探针移动轨迹。

对于不同的待测量物品，为了观察的清晰度，需要选择不同倍率的物镜进行观察，由于不同倍率的物镜，其本身光学焦距不同，需要上下调节动显微镜的位置，在待测量物品的表面聚焦。现有的反应腔体表面一般为平面式，为了给显微镜的上下移动预留较大的空间，现有的反映腔体内空间较小，探针工作的空间也较小，而且现有的探针一般为水平设置，在移动观察待测量物品，由于视线和角度问题，待测量物品的一些细节不能被看清楚。

发明内容

本申请提供一种凹槽式真空探针检测装置，扩大了物镜与测量物品表面之间的空隙，并为探针留出更多的工作空间，可更精细准确实时监控探针的移动轨迹。

本申请一种凹槽式真空探针检测装置，该装置包括显微镜、真空反应腔和设备支架，该装置还包括：

安装于设备支架上的聚焦调节器，用于调整显微镜的高度和水平位置；

安装于显微镜上的物镜切换盘，用于切换不同倍率的物镜；

所述真空反应腔为凹槽式，凹槽内设置有观察窗口，真空反应腔内、观察窗口下方设置有载物台，载物台上设置有垂直放置的探针，待测物品放置于探针顶部；

所述凹槽为所述物镜工作区域，调节所述显微镜的高度，可使得所述物镜高度下降，伸入所述凹槽内观察待测物品。

在一些实施例，所述物镜包括：5X物镜、50X物镜和500X物镜。

依据上述实施例，由于本申请的装置的真空反应腔为凹槽式，扩大了物镜与测量物品表面之间的空隙，并为探针留出更多的工作空间，又由于在真空反应腔内的载物平台上垂直放置探针，使得移动探针时，视线更好，可清晰、准确地观察待测物品的各个细节。

附图说明

图1为一种凹槽式真空探针检测装置结构图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

参考图1，为本申请提供的一种凹槽式真空探针检测装置,该装置包括：显微镜1、真空反应腔7和设备支架12，还包括：

安装于设备支架12上的聚焦调节器2，用于调整显微镜1的高度和水平位置；

安装于显微镜1上的物镜切换盘4，用于切换不同倍率的物镜；物镜包括：5倍物镜4、50倍物镜5和500倍物镜6；

真空反应腔7为凹槽式，凹槽13内设置有观察窗口11，真空反应腔7内、观察窗口11下方设置有载物台8，载物台8上设置有垂直放置的探针9，待测物品10放置于探针9顶部。

凹槽13为物镜工作区域，通过聚焦调节器2调节显微镜1的高度，可使得物镜高度下降，伸入凹槽13内观察待测物品10，通过聚焦调节器2调节显微镜水平位置，物镜仅可在凹槽13内水平移动。

工作原理：

根据实际工艺需要，可以转动物镜切换盘3选择不同的放大倍率显微镜物镜，由于物镜的倍率不同，其本身的光学焦距也不相同，需要通过调节设备支架12上的聚焦调节器2移动显微镜1的高度，来改变物镜的焦距，使得在测量物品10的表面上成像清晰。

在工作过程中，由于5倍物镜4、50倍物镜5的倍率小，其本身的焦距长，可以在通过观测量窗口11表面将光线聚焦在测量物品表面10。如果使用500倍物镜6，其为高倍率物镜，由于显微镜物镜的倍率大，其本身的焦距太短，光线无法在待测物品10表面聚焦，需要将显微镜1向下移动一定的距离，才能正常聚焦待测物品10表面。