[实用新型]一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置有效
| 申请号： | 201720737999.7 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN206986326U | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊 | 申请（专利权）人： | 安徽易芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人： | 方琦 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新站区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cz 直拉法硅单晶棒取棒 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，其特征在于：所述平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，所述固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，所述固定框为两半圆形固定框，所述固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，所述活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，所述活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，所述固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。
2.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，其特征在于：所述的固定支撑基座和活动支撑基座上两固定框的开合侧边缘处分别设有固定板，所述固定板上分布有竖直分布的固定连接孔。
3.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，其特征在于：所述的倾斜辅助机构包括有上、下连接架，所述上、下连接架分别安装在固定支撑基座上固定框的支撑杆上下端，其上连接架的连接横杆上通过转动套安装有斜撑杆，所述斜撑杆的底端端部安装有行走轮，其下连接架的连接横杆上通过转动套安装有斜拉杆，所述斜拉杆的上端通过导向套与斜撑杆导向配合。
4.根据权利要求3所述的CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，其特征在于：所述的斜撑杆为并列两条。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽易芯半导体有限公司，未经安徽易芯半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720737999.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
