[实用新型]一种皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光系统有效
申请号: | 201720233700.4 | 申请日: | 2017-03-11 |
公开(公告)号: | CN206480912U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 汪莎;陈辉;朱宗涛 | 申请(专利权)人: | 四川广正科技有限公司 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;B23K26/354;B23K26/064 |
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地址: | 611400 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种皮 脉冲宽度 可变 激光 系统 | ||
1.一种皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光系统,包括皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光器(10),所述皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光器(10)包括飞秒激光振荡器(11),飞秒激光振荡器(11)输出的脉冲激光依次通过飞秒展宽器(12)、啁啾脉冲放大器(13)和控制激光光路方向的声光开关(14);当脉冲激光通过声光开关(14)光路方向发生偏折时,脉冲激光依次通过偏转反射镜(15)、可改变激光偏振方向的半波片(16),第一偏振分束立方体(17a)反射后入射至第二偏振分束立方体(17b),经第二偏振分束立方体(17b)反射后获得皮秒脉冲激光输出,皮秒脉冲激光通过汇聚透镜(19)入射到激光输出光纤(20)中;当脉冲激光通过声光开关(14)光路方向不发生偏折时,脉冲激光依次通过脉宽压缩器(18)入射至第二偏振分束立方体(17b),经第二偏振分束立方体(17b)透射后获得飞秒脉冲激光输出,飞秒脉冲激光通过汇聚透镜(19)入射到激光输出光纤(20)中。
2.根据权利要求1所述的一种皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光系统,其特征在于:所述皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光系统还包括将激光输出光纤(20)输出的激光进行准直的准直透镜(21),控制激光光束作用于样品(30)表面上的位置和扫描速度的扫描振镜(22)和将激光聚焦入射到样品(30)上的汇聚透镜(23)。
3.根据权利要求1所述的一种皮秒/飞秒脉冲宽度可变激光系统,其特征在于:所述声光开关(14)控制激光光路方向的具体方式是:通过是否在声光开关(14)加射频信号来控制通过的脉冲激光的光路方向。
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