[实用新型]一种全自动化的扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种全自动化的扫描电子显微镜，包括由第一光学显微镜和平移台构成的光学导航系统，以及由电子源和电子光学镜筒构成的扫描电子显微镜装置，其特征在于，

所述光学导航系统还包括：位于所述第一光学显微镜下方且与所述平移台相连的、容纳待测样品进行光学探测的第一腔室；

所述扫描电子显微镜装置还包括：位于所述电子光学镜筒下方的、容纳待测样品进行扫描电子显微镜探测的第二腔室；

所述第一腔室与第二腔室之间通过真空阀门水平连通或隔绝；所述第一腔室内设置有能将待测样品从第一腔室通过所述真空阀门移动到所述第二腔室的自动传送装置。

2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述第一腔室的顶部设置有允许所述第一光学显微镜的照明光束和成像光束通过的第一观察窗；所述第一腔室的侧壁设有允许待测样品进出的换样门。

3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述第二腔室内设有承载并控制待测样品在水平、竖直方向移动的样品台；所述样品台上设有固定所述待测样品的自动固定装置。

4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述第二腔室内还包括：设置于所述样品台上方的、实时测量待测样品表面高度的自动聚焦跟踪系统。

5.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述自动传送装置设置于所述第一腔室的换样门上。

6.根据权利要求5所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述自动传送装置包括：固定于所述换样门上的第一可伸缩传送臂，以及连接在所述第一可伸缩传送臂另一端的承载待测样品的第一样品托。

7.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述自动传送装置通过一竖直方向的转轴设置于所述第一腔室内。

8.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述自动传送装置包括：一端固定于所述转轴且围绕转轴在水平方向旋转的第二可伸缩传送臂，以及连接在所述第二可伸缩传送臂另一端的承载待测样品的第二样品托。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述第二腔室上方还设有第二光学显微镜，所述第二腔室顶部与所述第二光学显微镜在竖直方向相对的位置设有允许光束传输的第二观察窗。