[实用新型]一种流水线式石英坩埚烘干装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚领域，具体涉及一种流水线式石英坩埚烘干装置。

背景技术

目前，随着太阳能光伏市场的迅猛发展，要求更多的太阳能级的单晶硅片和多晶硅片，而生产所需的多晶硅原料的生产，多晶硅料的铸锭，越来越多地依赖于质优价廉的坩埚。石英坩埚在生产过程中需要经过清洗、烘干步骤，现有的烘干装置有些需要相对密闭的烘干舱，不能实现流水作业。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型旨在克服现有技术的缺陷，提供一种流水线式石英坩埚烘干装置。

技术方案：一种石英坩埚烘干装置，包括两个平行设置的横梁，所述两个横梁之间具有多个平行设置的用于传送石英坩埚的传送辊；所述烘干装置还包括烘干舱，所述烘干舱的两端开口，两个横梁穿过所述烘干舱，所述烘干舱外顶部具有第一气泵、与第一气泵连接的第一管路和设置在所述第一管路上的第一加热装置，所述烘干舱内顶部具有第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴，所述第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴均与所述第一管路连接；所述烘干舱外底部具有第二气泵、与所述第二气泵连接的第二管路和设置在第二管路上的加热装置，所述烘干舱内底部具有与所述第二管路连接的第四喷嘴；所述烘干装置还包括驱动多个传送辊的驱动装置。

进一步地，所述第二喷嘴和第四喷嘴的端部均呈喇叭形。

进一步地，所述第一喷嘴位于烘干舱的一端开口处，所述第三喷嘴位于烘干舱的另一端开口处。

进一步地，所述烘干舱包括外壁、内壁和保温夹层。

进一步地，所述烘干舱还具有温度传感器、湿度传感器和控制器。

进一步地，所述控制器为PLC控制器。

有益效果：本实用新型的烘干舱，能够实现对使用坩埚进行烘干，并且能够实现流水作业，效率高。

附图说明

图1为烘干装置示意图。

具体实施方式

附图标记：1烘干舱；2横梁；3传送辊；10第一气泵；11第一喷嘴；12第二喷嘴；13第三喷嘴；14第一加热装置；20第二气泵；21第四喷嘴；22第二加热装置；30石英坩埚。

一种石英坩埚烘干装置，包括两个平行设置的横梁2，所述两个横梁2之间具有多个平行设置的用于传送石英坩埚的传送辊3；所述烘干装置还包括烘干舱1，所述烘干舱的两端开口，两个横梁穿过所述烘干舱，所述烘干舱外顶部具有第一气泵10、与第一气泵连接的第一管路和设置在所述第一管路上的第一加热装置14，所述烘干舱内顶部具有第一喷嘴11、第二喷嘴12和第三喷嘴13，所述第一喷嘴11、第二喷嘴12和第三喷嘴13均与所述第一管路连接；所述烘干舱外底部具有第二气泵20、与所述第二气泵连接的第二管路和设置在第二管路上的加热装置22，所述烘干舱1内底部具有与所述第二管路连接的第四喷嘴21；所述烘干装置还包括驱动多个传送辊的驱动装置。所述第二喷嘴12和第四喷嘴21的端部均呈喇叭形。所述第一喷嘴11位于烘干舱的一端开口处，所述第三喷嘴13位于烘干舱的另一端开口处。所述烘干舱包括外壁、内壁和保温夹层。所述烘干舱还具有温度传感器、湿度传感器和控制器。所述控制器为PLC控制器。

本实用新型的石英坩埚烘干装置，烘干舱穿设在流水线上，通过第二喷嘴对坩埚外侧进行烘干，通过第四喷嘴对坩埚内侧进行烘干；第一、三喷嘴实现热风帘的作用，避免冷空气进入烘干舱，并且第一、三喷嘴能够实现辅助烘干石英坩埚侧壁的作用。当石英坩埚输送到烘干舱内时，可以停留一段时间，烘干结束后，继续输送。这一切通过程序设定可以实现自动化。

尽管本实用新型就优选实施方式进行了示意和描述，但本领域的技术人员应当理解，只要不超出本实用新型的权利要求所限定的范围，可以对本实用新型进行各种变化和修改。