[发明专利]一种靶材配套聚焦环的校圆工装

说明书

技术领域

本发明涉及溅射技术领域，具体涉及一种靶材配套聚焦环的校圆工装。

背景技术

20世纪90年代以来，随着电子设备市场的高速发展，高纯溅射靶材的需求量日益增大以及靶材市场规模日益扩大，靶材行业的发展呈现高速增长的势头。随着国产溅射靶材的技术成熟，尤其是国产溅射靶材具备较高的性价比优势，并且符合溅射靶材国产化的政策导向，我国溅射靶材的市场规模进一步扩大，在全球市场中获得更多客户的认可，市场份额进一步提高，总的来说，靶材行业前景广阔。因此到目前位置，靶材的使用量十分庞大，而靶材配套聚焦环作为靶材的一种，用量也十分的巨大。

而靶材配套聚焦环在生产加工的过程中，涉及到的工序繁多，加工难度较大。在卷圆工序完成之后，因加工应力变形从而导致靶材配套聚焦环圆度较差。靶材配套聚焦环的形状与在使用过程中的形状不一致，如果不在安装使用前提前校圆，达到与使用情况一致的前提下，那么在使用安装的过程中就需要借助外力进行安装，在接触外力的情况下，靶材配套聚焦环内部会产生一定的应力。因此，如果靶材配套聚焦环圆度比较差的话会造成以下几个问题：

1.客户安装使用不便：因为在未校圆的前提下，产品的形状与安装使用时的形状不能达到一致，客户如果不借助外力的情况下不能顺利安装调试，借助外力安装使用，在使用完毕时仍然不方便拆卸，因此给客户在安装使用上带来了众多的不便。

2.在使用过程中，如果圆度较差，安装过程中因为借助外力导致靶材内部存在一定的应力，当温度达到200-300℃时，发生应力释放，导致靶材在使用过程中发生变形，从而导致固定产品安装的Pin松动，以致于靶材配套聚焦环的安装发生松动，靶材配套聚焦环的松动可能导致某些部位接触产生问题，从而引发磁场发生改变，改变钛离子的运动轨迹，从而导致了产品的报废。

3.在如图1所示纯钛溅射的使用过程中，因为圆度较差导致在使用过程中消耗掉的部分不均匀，在氮化钛溅射过程中，导致吸附不均匀从而导致环形靶材配套聚焦环失去平衡。失去平衡之后，环形靶材中间的磁场会发生变化，会影响钛离子的运动轨迹，也会使靶材配套聚焦环内部应力不均匀，从而加速应力释放的时间，从而导致安装松动，使产品报废。

因此，靶材配套聚焦环的圆度在靶材使用过程中起着非常重要的作用，圆度较差轻者影响靶材的使用寿命，重者可直接导致产品的报废。所以，设计一个靶材配套聚焦环的校圆工装是十分有必要的。

发明内容

针对现有技术中的问题，本发明提供一种靶材配套聚焦环的校圆工装，其特征在于，包括：模柄、凸模、凹模和弹性装置，其中模柄、尼龙材质的凸模和尼龙材质的凹模三者的轴线共线；模柄安装于凸模的顶部；凸模从上而下由轴线重合的凸模圆板、凸模校圆柱和凸模定心柱一体构成，凹模从外至内由轴线共线的凹模外空心圆柱和凹模内空心圆柱一体构成，沿凹模内空心圆柱外径的顶面周向均匀竖直开有4-6个弹性装置安装槽，且弹性装置安装槽并不穿透凹模内空心圆柱的底面；

弹性装置由推件块和强力弹簧组成，其中强力弹簧的下端与弹性装置安装槽的槽底固接，强力弹簧的上端安装有尼龙材质的推件块；推件块竖直安装于弹性装置安装槽内；

进行校圆工作时，靶材配套聚焦环位于凸模和凹模所围成的环状空间中，凸模与凹模间的配合确保在校圆的完整流程中，靶材配套聚焦环表面的花纹不被碰伤。

所述凸模位于所述凹模的上方。

所述凸模定心柱的底面边缘倒有圆角，凸模校圆柱的底面边缘倒有圆角。

所述凹模外空心圆柱高出凹模内空心圆柱的长度与凸模校圆柱的长度相等；凸模校圆柱的直径等于靶材配套聚焦环的内径；凹模外空心圆柱的内径等于靶材配套聚焦环的外径；凹模内空心圆柱的内径等于凸模定心柱的直径。

所述推件块的外形等于弹性装置安装槽。

所述推件块高度为35-45mm，安装后的弹性装置在自然情况下，其推件块的顶端高出凹模内空心圆柱的顶面10mm。

本发明的有益效果为：

1、实现了靶材配套聚焦环的快速校圆工序。

2、该工装可反复多次利用，每件靶材校圆完成后，形状大小，靶材状态均为一致。

3、该工装操作简单、效率明显，工人上手操作比较容易，校圆过程更多为机械校圆，避免了人为误差；

4、该工装可根据靶材生产出来了特殊情况，对保压时间进行一个合适调整，运用灵活、方便。

5、该工装直接提高了靶材配套聚焦环的使用寿命、用较短的时间提高了产品的质量。

附图说明