[发明专利]一种微蚀刻液的再生循环装置在审
| 申请号： | 201711453755.7 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109972141A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 罗宝奎;陈永江 | 申请（专利权）人： | 广州市吉池环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司： | 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515 | 代理人： | 朱庆华 |
| 地址： | 510700 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微蚀刻 再生循环装置 微蚀刻液 电解槽 废液 连通 蚀刻废液 调配槽 铜离子 环保型系统 再生蚀刻液 再生 电解铜板 调整参数 废物排放 循环再生 直接电解 电沉积 电解液 高纯 生产工艺 电解 废气 废水 返回 封闭 | ||
【权利要求书】：
1.一种微蚀刻液的再生循环装置，包括与微蚀刻生产线连通的蚀刻废液槽以及，用于输送再生蚀刻液至微蚀刻生产线的再生调配槽；所述蚀刻废液槽与电解槽连通，所述电解槽与所述再生调配槽连通。
2.根据权利要求1所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述再生循环装置的微蚀刻生产线、蚀刻废液槽、电解槽及再生调配槽之间通过管道连通，并通过高压泵开关控制。
3.根据权利要求1所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述电解槽包括阳极和阴极，所述阴极为圆柱结构，所述圆柱结构的中间穿过轴心固定一绝缘板。
4.根据权利要求3所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述电解槽的阴极采用不锈钢阴极板。
5.根据权利要求4所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述不锈钢阴极板的厚度为1-1.5mm。
6.根据权利要求3所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述电解槽的阳极为钛金属材料。
7.根据权利要求6所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述电解槽的阳极与阴极的半径之比为4:1。
8.根据权利要求1所述的微蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述微蚀刻液的再生循环装置还包括感应器和PLC控制器，所述感应器位于微蚀刻生产线上，将信号输送至所述PLC控制器，所述PLC控制器通过控制高压泵控制电解回收及再生调配槽。
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