[发明专利]一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器在审
| 申请号： | 201711422479.8 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108152998A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;杨忠华;蔡松炜;王玉姣;陈进湛;刘天良;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02F1/17;G02F1/00;G02B5/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸收单元 信号端 可调光衰减器 黑磷 条形波导 介质层 硅基 调控 饱和特性 等距设置 光衰减器 扩宽 | ||
1.一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器，其特征在于：包括信号端和多级等距设置在信号端上的黑磷吸收单元(9)，所述信号端包括硅基(7)、设置在硅基(7)上的介质层(6)和设置在信号端中部的条形波导(5)，所述条形波导(5)设置在介质层(6)上方。
2.根据权利要求1所述的一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器，其特征在于：所述黑磷吸收单元(9)包括第一电极(1)、第二电极(8)、第一层黑磷(2)、第二层黑磷(4)和隔离介质(3)，所述第一电极(1)和第二电极(8)分别设置在黑磷吸收单元(9)两端，所述条形波导(5)位于所述第一电极(1)和第二电极(8)之间的中部，所述第一电极(1)底部与条形波导(5)之间铺设有第一层黑磷(2)，第一层黑磷(2)的条形波导(5)上方设置有隔离介质(3)，所述隔离介质(3)上端与第二电极(8)底部之间铺设有第二层黑磷(4)。
3.根据权利要求2所述的一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器，其特征在于：所述条形波导(5)包括硅。
4.根据权利要求3所述的一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器，其特征在于：所述介质层(6)包括二氧化硅。
5.根据权利要求4所述的一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器，其特征在于：所述隔离介质(3)包括硅氧化物和硅氮氧化物。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种基于多级黑磷吸收单元的可调光衰减器，其特征在于：所述多级黑磷吸收单元(9)由多个门电路开关控制接通黑磷吸收单元(9)的个数。
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