[发明专利]一种含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂

权利要求书

1.一种含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，包括以下重量份数的组分：

所述特殊官能团光固化单体属于邻苯二甲酸酯类物质，其中一个支链含有乙烯双键，可参与光固化反应；另一端不含有可反应性基团但含有氯元素或者氮元素。

2.根据权利要求1所述的含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，所述含有羧基的高分子粘合剂是由一个或多个乙烯类单体和一个或多个α,β-乙烯类不饱和羧基单体聚合而得，所述乙烯类单体选自羟烷基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯、丙烯酸正丁酯、苯乙烯和烷基取代的苯乙烯中的一种或几种，所述α,β-乙烯类不饱和羧基单体选自苯丙烯酸、丁烯酸、富马酸、山梨酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丙炔酸、马来酸及它们的酸酐中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，所述自由基光引发剂选自双咪唑类引发剂、二苯甲酮、二甲氧基苯基苯乙酮和N-苯基甘氨酸中的而一种或几种。

4.根据权利要求1所述的含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，所述光聚合单体选自三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、六官能度聚酯丙烯酸酯、四官能度聚酯丙烯酸酯、乙氧化双酚A甲基丙烯酸酯和三乙二醇二丙烯酸酯中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，所述热聚合抑制剂选自p-甲氧基苯酚、氢苯醌、特丁基邻苯二酚、邻苯三酚、β-萘酚、2,6-二特丁基-p-甲苯酚、2,2’-亚甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚)、p-甲苯苯醌、四氯苯醌、芳基亚磷酸盐和烷基芳基亚磷酸盐中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，所述改性聚氨酯是乙氧基改性的聚氨酯或者乙氧基和丙氧基共同改性的聚氨酯，乙氧基的数量为1-30，丙氧基的数量为0-20。

7.根据权利要求1所述的含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，所述特殊官能团光固化单体由邻苯二甲酸酯化含有乙氧基和/或丙氧基的官能团制备而得，乙氧基的数量为0-20，丙氧基的数量为0-20。