[发明专利]全自动电镀机及其电镀工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种全自动电镀机及其电镀工艺。

背景技术

电镀是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程。电镀时，镀层金属做阳极，待镀的工件做阴极，镀层金属的阳离子在待镀工件表面被还原形成镀层。能增强金属的抗腐蚀性(镀层金属多采用耐腐蚀的金属)、增加硬度、防止磨耗、提高导电性、光滑性、耐热性和表面美观。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于微小电子元器件电镀的全自动电镀机及其电镀工艺。

实现本发明目的的技术方案是：全自动电镀机，包括电镀旋转筒、旋转驱动电机、排液管、Ni电镀液槽、Sn电镀液槽、排水槽、Ni镀液循环管、Sn镀液循环管、电镀电源、Ni阳极、Sn阳极、阴极给电环和注水管；所述电镀旋转筒包括内筒和外罩；所述内筒设置在外罩的内腔中；所述内筒和外罩的顶部均设有开口；所述内筒的侧壁上设有排液过滤环；所述外罩的底面设有通孔，通孔的边缘设有向上延伸的环形凸台；所述内筒的底部从外罩底面的通孔中穿出；所述旋转驱动电机的输出轴与内筒的底部固定联接；所述排液管的入口连通外罩的内腔底部，排液管的出口位置可在Ni电镀液槽、Sn电镀液槽和排水槽的上方切换；所述Ni电镀液槽和Sn电镀液槽的出口分别通过Ni镀液循环管和Sn镀液循环管连通至内筒的内腔中；所述阳极包括Ni阳极和Sn阳极；所述电镀电源的正极与Ni阳极或Sn阳极电连接；所述电镀电源的负极与阴极给电环电连接；所述Ni阳极和Sn阳极均可伸入内筒的内腔中，并且与内筒不接触；所述阴极给电环设置在内筒的侧壁上；所述注水管连通内筒的内腔，以及Ni镀液循环管和Sn镀液循环管。

所述电镀旋转筒的内筒的底部设有固定底座，固定底座的下端面中心设有内筒转轴；所述内筒转轴从外罩底面的通孔中穿出，并与旋转驱动电机的输出端固定联接。

所述电镀旋转筒的内筒的固定底座的下端面设有环绕内筒转轴的挡液环；所述挡液环的内径大于外罩上的环形凸台的外径；所述挡液环的下端面高度小于环形凸台上端面高度。

所述电镀旋转筒的内筒的内壁由导电材料制成；所述内筒转轴上套设有阴极供电碳刷；所述电镀电源的负极通过阴极供电碳刷连接至阴极给电环。

所述电镀旋转筒的内筒的内腔中设有颗粒状导电球。

所述电镀旋转筒的内筒的内腔中设有液位传感器。

所述电镀旋转筒的外罩的上端口部设有外罩盖；所述外罩盖由外罩开合气缸驱动；所述外罩盖上设置外罩喷洗液阀和外罩清洁气阀。

所述Ni电镀液槽的出口与Ni镀液循环管之间，以及Sn电镀液槽的出口与Sn镀液循环管之间均设置有镀液循环泵。

所述Ni镀液循环管和Sn镀液循环管上均设有过滤器。

所述电镀电源为低电压大电流的直流电源。

全自动电镀机，还包括排液切换马达和旋转板；所述旋转板固定在排液切换马达的输出轴上；所述排液管的出口固定在旋转板上；所述排液切换马达驱动旋转板转动，从而带动排液管的出口位置在Ni电镀液槽、Sn电镀液槽和排水槽的上方切换。

全自动电镀机，还包括Ni阳极臂、Ni阳极臂支撑板、Ni阳极臂升降气缸和Ni阳极臂摆动气缸；所述Ni阳极的顶部与Ni阳极臂的一端固定连接，Ni阳极臂的另一端与Ni阳极臂支撑板转动连接；所述Ni阳极臂支撑板固定在Ni阳极臂升降气缸的活塞杆上；所述Ni阳极臂摆动气缸的缸体铰接在Ni阳极臂支撑板上，Ni阳极臂摆动气缸的活塞杆与Ni阳极臂铰接。

全自动电镀机，还包括Sn阳极臂、Sn阳极臂摆动气缸和Sn阳极臂升降气缸；所述Sn阳极的顶部与Sn阳极臂的一端固定连接，Sn阳极臂的另一端与Sn阳极臂支撑板转动连接；所述Sn阳极臂支撑板固定在Sn阳极臂升降气缸的活塞杆上；所述Sn阳极臂摆动气缸的缸体铰接在Sn阳极臂支撑板上，Sn阳极臂摆动气缸的活塞杆与Sn阳极臂铰接。

上述全自动电镀机的电镀工艺，包括以下步骤：

①、将被镀物放入电镀旋转筒的内筒的内腔中，并掺入少量的颗粒状导电球，然后进行水洗；

②、Ni阳极伸入内筒的内腔中，电镀电源的正极与Ni阳极之间的电路导通，然后开始镀Ni；

③、水洗；

④、电镀电源的正极与Ni阳极之间的电路断开，Ni阳极撤回；

⑤、水洗；

⑥、Sn阳极伸入内筒的内腔中，电镀电源的正极与Sn阳极之间的电路导通，然后开始镀Sn；

⑦、水洗；

⑧、电镀电源的正极与Sn阳极之间的电路断开，Sn阳极撤回

⑨、水洗。