[发明专利]仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构

权利要求书

1.一种仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构，其特征在于，包括：等强度悬臂梁(1)、孔缝组(2)、力敏声表面波谐振器(3)；其中：

所述等强度悬臂梁(1)整体为具有矩形前端的等腰梯形结构，等腰梯形结构的末端为等强度悬臂梁(1)的固定端，在使用状态下，外界作用力施加在矩形前端；

所述孔缝组(2)设置于等强度悬臂梁(1)上，并靠近等强度悬臂梁(1)的固定端；

所述力敏声表面波谐振器(3)设置于等强度悬臂梁(1)上，并位于孔缝组的上方；

所述孔缝组(2)包括多个孔缝单体；其中，每一个孔缝单体在所述等强度悬臂梁侧边上的截面均为多边形，孔缝单体的宽度为多边形截面的宽度，孔缝单体的高度为多边形截面的高度，孔缝单体的深度为垂直于多边形截面向所述等强度悬臂梁内部延伸的距离，相邻两个孔缝单体之间的间距为相邻两个多边形截面的间距；

通过设置多个孔缝单体之间的高度、宽度和相邻两个孔缝单体之间的间距，形成具有不同结构的孔缝组(2)；

多个孔缝单体之间采用以下任意一种形式设置：

-多个所述孔缝单体之间等宽度、等间距、等高度设置；

-多个所述孔缝单体之间等宽度、等间距、高度沿固定端到矩形前端方向逐渐增加或减少的阶梯型分布设置；

-多个所述孔缝单体之间等宽度、等高度、间距沿固定端到矩形前端方向逐渐增大或减小分布设置；

-多个所述孔缝单体之间等间距、等高度、宽度沿固定端到矩形前端方向逐渐增加或减少分布设置。

2.根据权利要求1所述的仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构，其特征在于，所述等强度悬臂梁(1)还包括如下任意一项或任意多项特征：

-采用压电单晶材料或层状复合材料；

-等强度悬臂梁(1)的固定端通过夹持结构固定。

3.根据权利要求1所述的仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构，其特征在于，所述孔缝单体的数目大于等于6个，相邻两个孔缝单体之间的间距小于等于孔缝单体宽度的一半。

4.根据权利要求1所述的仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构，其特征在于，所述力敏声表面波谐振器(3)在工作状态下激发出声表面波。