[发明专利]形状测量设备的控制方法

权利要求书

1.一种形状测量设备的控制方法，所述形状测量设备具备在前端具有触针针尖的探测器，并且还具备使探测器移动的移动机构，所述形状测量设备用于检测所述触针针尖和工件的表面之间的接触并且测量所述工件的形状，所述控制方法包括以下步骤：

基于所述工件的设计数据，进行以下操作：

经由主机计算机，来定位所述触针针尖移动所经由的扫描路径；

从所述主机计算机接收向运动控制器的命令；以及

基于从所述主机计算机所接收到的命令，经由所述运动控制器，在将所述探测器向着所述工件的按压量控制成保持在基准按压量的同时使所述触针针尖沿着所述扫描路径移动，在该移动期间，通过所述运动控制器来执行以下处理：

以每预定数量的区段对所述扫描路径进行分割，并且定义针对每预定数量的区段的一组测量命令Ci，其中i是从1到n+1的整数；

对测量命令Cn中所包括的区段数和测量命令Cn+1中所包括的区段数进行平均；

在执行测量命令Ci期间，创建针对下一测量命令Ci+1的速度模式计划；

之后进行使测量命令Ci的速度模式计划Pvi的最终速度与测量命令Ci+1的速度模式计划Pvi+1的最初速度相同的计划；

将测量命令Ci的结尾与测量命令Ci+1的开始连接；以及

使所述探测器在不停止的情况下移动，其中测量命令Ci的速度模式计划Pvi的最终速度和测量命令Ci+1的速度模式计划Pvi+1的最初速度不为0毫米/秒。

2.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法，其中，还包括：经由所述运动控制器将测量命令Ci的速度模式计划Pvi的最终速度设置成1毫米/秒～5毫米/秒的低速度。

3.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法，其中，在将生成与一个测量命令Ci相对应的速度模式计划所需的时间指定为计划计算时间Tp的情况下，进行以下操作：

在执行测量命令Ci期间，连续计算从当前时刻起、直至该一个测量命令Ci的估计结束时刻为止的间隙时间；

在所述间隙时间比所述计划计算时间Tp长的情况下，生成连接用速度计划，以保持测量命令Ci+1的速度模式计划Pvi+1的最初速度与测量命令Ci的速度模式计划Pvi的最终速度相同；以及

在所述间隙时间比所述计划计算时间Tp短的情况下，生成个体速度计划，以保持测量命令Ci+1的速度模式计划Pvi+1的最初速度为0。

4.根据权利要求2所述的形状测量设备的控制方法，其中，在将生成与一个测量命令Ci相对应的速度模式计划所需的时间指定为计划计算时间Tp的情况下，进行以下操作：

在执行测量命令Ci期间，连续计算从当前时刻起、直至该一个测量命令Ci的估计结束时刻为止的间隙时间；

在所述间隙时间比所述计划计算时间Tp长的情况下，生成连接用速度计划，以保持测量命令Ci+1的速度模式计划Pvi+1的最初速度与测量命令Ci的速度模式计划Pvi的最终速度相同；以及

在所述间隙时间比所述计划计算时间Tp短的情况下，生成个体速度计划，以保持测量命令Ci+1的速度模式计划Pvi+1的最初速度为0。