[发明专利]液滴排出装置和排出检查方法

说明书

本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。

技术领域

本发明涉及向工件排出功能液的液滴而进行描绘的液滴排出装置和排出检查方法。

背景技术

以来，作为使用功能液而在工件上进行描绘的装置，已知将该功能液制成液滴而排出的喷墨方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛用于制造例如有机EL装置、彩色滤光片、液晶显示装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等电光装置(平板显示器：FPD)时等。

在液滴排出装置中，要求功能液的排出位置具有正确性。因此，出于检查修正功能液的排出的目的，在进行描绘之前将功能液排出在检查用介质上，由拍摄装置拍摄该所排出的功能液，基于拍摄结果，修正排出条件，由此来调节功能液的排出量等(参照专利文献1)。

作为检查用介质，在专利文献2的液滴排出装置中，使用的是通过膜涂而抑制液滴的渗透的介质。另外，在专利文献3的液滴排出装置中，使用以所滴注的功能液滴形成规定的接触角的方式进行了表面处理的检查基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－204411号公报

专利文献2：日本专利5131450号公报

专利文献3：日本特开2005－119139号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，如专利文献2或3所示，当使用抑制了液滴的渗透的介质即憎液性的介质作为检查用介质时，因该介质带电，功能液滴大多会发生滴注位置偏离。因此，当使用憎液性的介质作为检查用介质时，不能基于介质上的液滴的拍摄结果而适当调节液滴的排出状态。

通过使用具有渗透性的介质而不是憎液性的介质作为检查用介质，能够消除上述滴注位置偏离的问题。但是，由于渗透性因功能液的溶质或溶剂的种类而不同，因此滴注且渗透在介质上之后的功能液滴的状态会因功能液的溶质或溶剂的种类而不同。因此，每一种功能液等，都需要调节所滴注的功能液滴的拍摄结果等。因此，在使用新功能液的情况下，往往也需要装置的改造或条件的微调，相应地要花费时间。

专利文献1～3关于这方面也没有任何公开。

本发明是鉴于这一点而完成的，其目的在于，提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。

用于解决技术问题的技术方案

为了实现上述目的，提供了一种液滴排出装置，其特征在于，包括：向工件排出功能液的液滴的液滴排出头；由检查用介质的具有憎液性的表面接受来自该液滴排出头的检查排出的排出检查单元；和对检查排出到上述检查用介质的表面上的上述液滴进行拍摄的拍摄部，上述液滴排出装置还包括：对上述检查用介质的具有憎液性的表面进行除电的除电单元，在进行上述液滴的检查排出之前，通过上述除电单元对上述检查用介质的上述表面进行除电。

上述液滴排出装置优选还包括防止由检查排出到上述检查用介质的表面上的液滴引起的污染的防污染单元。

上述防污染单元例如从上述检查用介质的表面除去上述检查排出的液滴。