[发明专利]压电元件

说明书

本发明涉及一种压电元件，在该压电元件中，制作压电元件的过程中在烧成的时候产生于非活性部的内部应力或从外部被附加到非活性部的应力由第1通孔导体下面的低洼部和第2通孔导体上面的低洼部而被缓和。由此，例如通孔导体的变形或断裂等被抑制，并且发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态被抑制。而且，在非活性部分中，因为压电体层的突部进入到通孔导体的低洼部，所以相对于通孔导体的压电体层的保持力增加，并且通孔导体的变形被抑制或者被阻碍。

技术领域

本发明涉及压电元件。

背景技术

一直以来，作为压电元件已知薄型的层叠型压电元件。在这样的压电元件中，表面电极或内部电极等电极层之间通过侧面电极或者被贯穿设置于压电体层的通孔导体来谋求导通。

上述的侧面电极一般是由烧结或溅射、蒸镀等来设置于素体的侧面的，像这样的侧面电极因为露出于外部所以容易因外部因素而破损或劣化。另外，由于上述的通孔导体位于素体的内部，所以相对于外部因素具有较高的耐受性。在日本专利特开2004-207340号公报(引用文献1)中，公开有通过通孔导体来谋求电极之间的导通的致动器(actuator)。

发明内容

根据本公开，能够提供一种能够谋求到连接可靠性的提高的压电元件。

本发明的一个侧面所涉及的压电元件是一种具备电极层和压电体层被交替层叠的层叠体的压电元件；层叠体具有包含被贯穿设置在被重叠于电极层的一面上的第1压电体层的第1通孔导体、和被贯穿设置在重叠于该电极层的另一面上的第2压电体层的第2通孔导体的层叠部分；在层叠部分中，第1通孔导体在第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部，并且第2压电体层具有进入到第1低洼部的突部，第2通孔导体在第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，并且第1压电体层具有进入到第2低洼部的突部。

在上述压电元件的层叠部分中，在该层叠部分的内部产生应力或从外部附加应力时，该应力通过电极层的一面侧的第1通孔导体的第1低洼部以及电极层的另一面侧的第2通孔导体的第2低洼部而被缓和。由此，在上述层叠部分中，发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态被抑制。而且，上述层叠部分中，第2压电体层的突部进入到第1通孔导体的第1低洼部，并且第1压电体层的突部进入到第2通孔导体的第2低洼部，从而相对于各个通孔导体的压电体层的保持力增加。由此，各个通孔导体的位移或变形被抑制，并且进一步抑制了在上述层叠部分发生导通不良或断线的事态。

本发明的另一个侧面所涉及的压电元件具有在施加电压的时候压电体层中产生电场而变形的活性部、在施加电压的时候压电体层中不产生电场的非活性部，层叠部分位于非活性部，从层叠体的层叠方向观察，第1通孔导体和第2通孔导体沿着活性部和非活性部的排列方向相邻接。活性部在极化时或在驱动时发生变形，伴随于该活性部变形的应力和形变等被附加于非活性部。但是，上述层叠部分中，由于第1通孔导体在第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部并且第2通孔导体在第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，所以上述的应力或形变被缓和，由此，在上述层叠部分中的发生导通不良或断线的事态被抑制。

本发明的另一个侧面所涉及的压电元件中，第1通孔导体的厚度薄于第1压电体层的厚度，或者，第2通孔导体的厚度薄于第2压电体层的厚度。

本发明的一个侧面所涉及的压电元件具备具有层叠部分的层叠体，所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层和被贯穿设置于该压电体层的通孔导体，在层叠部分具有接近于通孔导体的空隙。

上述压电元件中，在层叠部分接近于通孔导体的空隙缓和了通孔导体周边的应力或形变。由此，在上述层叠部分发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态被抑制。