[发明专利]一种基于曲面基准件的二维位移测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种位移测量方法，特别是一种基于曲面基准件的二维位移测量方法。

背景技术

目前使用较为广泛的机床误差检测仪器有激光干涉仪和球杆仪，由于自身检测原理上的因素，这些仪器在应用于多轴数控机床的误差检测中存在各自的不足：如激光干涉仪调整复杂，一次测量只能获得一个参数，操作要求高，难以实现自动化、快速化，并且价格昂贵，一般企业不具备；球杆仪无法随意规划测量路径，为旋转轴误差辨识的测量步骤设计和理论解耦算法研究增加了难度，且球杆仪以磁力座配合精密球进行接触式测量，需要在低速下运动以保证测量精度，很难适应快速化趋势。

多轴数控机床的几何误差检测项目主要包括运动轴的角度误差、定位误差、直线度误差、垂直度误差等，为了检测运动轴的上述误差量，提出了一种基于曲面基准件的二维位移测量方法。

发明内容

本发明为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种基于曲面基准件的二维位移测量方法，采用该方法一次测量可以同时获得运动部件两个方向的位移。

本发明为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种基于曲面基准件的二维位移测量方法，在沿Z轴设置的运动部件上安装光学测头，在与Z轴垂直的平台上卡固曲面基准件，在所述曲面基准件上设有曲面阵列，运动部件位于所述曲面基准件的上方；所述光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块，所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束，细直光束经所述反射镜后入射到所述分光棱镜中，1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点，该点反射的光束经所述分光棱镜透射后，通过所述成像透镜成像在所述CCD相机上；采用所述光学测头和所述曲面基准件测量运动部件在X、Y两个方向上的位移，具体步骤如下：1)通过标定得出光学测头的光轴在CCD相机中的位置坐标O(x₀，y₀)，调整所述光学测头的光束和所述曲面基准件上的曲面中心线平行；2)运动部件带动光学测头沿左右方向平移到第一位置A_I处，此时曲面阵列上对应的测量点为A₁(x₁，y₁，z₁)，所述数据处理模块按照以下步骤进行数据处理：2.1)获取CCD相机中成像光斑中心位置坐标A₁′(x₁′，y₁′)；2.2)将步骤2.1)中的光斑中心位置坐标A₁′(x₁′，y₁′)转换为光斑中心距离光轴的距离S_1x、S_1y；2.3)计算测量点A₁斜率对应的角度：ξ_x＝arctan(s_1x/f)/2，ξ_y＝arctan(s_1y/f)/2，其中：ξ_x代表测量点A₁在XOZ平面内的切线与X轴方向的夹角；ξ_y代表测量点A₁在YOZ平面内的切线与Y轴方向的夹角；f代表成像透镜的焦距；2.4)计算测量点A₁(x₁，y₁，z₁)的坐标：x₁＝g(ξ_x)，y₁＝g(ξ_y)，其中：g(x)代表一元函数；3)运动部件带动光学测头沿左右方向平移到第二位置A_II处，此时曲面阵列上对应的测量点为A₂(x₂，y₂，z₂)，数据处理过程同步骤2)，测量点A₂(x₂，y₂，z₂)的坐标为：x₂＝g(φ_x)，y₂＝g(φ_y)，其中：Φ_x代表测量点A₂在XOZ平面内的切线与X轴方向的夹角；Φ_y代表测量点A₂在YOZ平面内的切线与Y轴方向的夹角；4)数据处理模块计算运动部件在X、Y两个方向上的位移：M＝g(φ_x)-g(ξ_x)+P，N＝g(φ_y)-g(ξ_y)+Q，其中：M代表运动部件在X方向的位移；N代表运动部件在Y方向的位移；P代表第i个曲面和第j个曲面的中心线在X方向的距离；Q代表第i个曲面和第j个曲面的中心线在Y方向的距离。