[发明专利]一种真空计在线校准室

说明书

本发明公开一种真空计在线校准室，包括球形校准室、微调阀和标准真空计，球形校准室在圆球的赤道线上设置4个测试口，标准真空计通过测试口与球形校准室连接；球形校准室的顶端设有法兰，微调阀通过法兰与球形校准室连接，微调阀的出气口通大气；球形校准室的底端设有连接法兰，与真空设备相连接。本发明的球形校准室，增加气体分子在真空环境中相互碰撞的几率，有利于真空值的传递；微调阀能准确调节真空值到校准点并保持稳定，提高效率，降低能耗；实现了高真空计和低真空计的校准；设计先进，结构合理，能提高真空计量技术水平；采用便携式球形结构，方便在现场使用，能开展真空计的在线校准工作。

所属技术领域

本发明涉及真空技术领域，特别是于真空计校准技术领域。

背景技术

目前，公知的真空计在线校准，一般是在真空设备的被校真空计测试口上，安装“T”型三通，三通的一端通过法兰连接真空设备的被校真空计测试口，三通的其余两端分别通过法兰连接标准真空计和被校真空计。校准时，利用真空设备自有的抽气机组提供真空度，由“T”型三通传递真空值量值，使“T”型三通内的真空值达到选定的校准点，进行真空计在线比对校准。

真空值是气体分子在真空环境中相互碰撞而产生的压力，在真空环境中，稀薄的气体分子行程较长，在“T”型三通不容易碰撞，所以由“T”型三通传递真空值时，稳定时间长。同时，目前采用的方法中，直接利用真空设备自有的抽气机组提供真空度，由于“T”型三通构成的校准室容积小，微调阀不能调节使用，所以“T”型三通上不安装微调阀，致使在校准时依赖真空设备自有的抽气机组调节被校真空值到选定的校准点，不但效率低、能耗高，而且不能准确地调节真空值。

发明内容

要解决的技术问题：为了克服现有的真空计在线校准中真空值由“T”型三通传递的缺点，以及真空值不能进行微调，本发明提供一种真空在线校准室，采用球形结构，并使用微调阀，该校准室不仅能适应真空环境下真空值量值传递的特点，也能准确调节需校准的真空值。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种真空计在线校准室，包括球形校准室、微调阀和标准真空计，球形校准室在圆球的赤道线上设置4个测试口，标准真空计通过测试口与球形校准室连接；球形校准室的顶端设有法兰，微调阀通过法兰与球形校准室连接，微调阀的出气口通大气；球形校准室的底端设有连接法兰，与真空设备相连接。

所述微调阀的进气口与球形校准室连接法兰为KF法兰。

所述球形校准室连接的标准真空计，包括电容薄膜真空计和电离真空计。

所述电离真空计在校准高于10^-2Pa的真空值时选用作为标准真空计。

所述电容薄膜真空计在校准低于10^-2Pa的真空值时选用作为标准真空计。

所述球形校准室材料为不锈钢。

本发明设计了球形校准室，作为真空计校准容器；采用微调阀，当利用真空设备自有的抽气机组提供真空度过大时，打开微调阀，使空气平稳进入校准室，减小校准室的真空度，稳定真空值到选定的校准点；在球形校准室的赤道位置设计测试口，用法兰分别连接真空设备、标准真空计、被校真空计。

本发明的有益效果：设计球形校准室，增加气体分子在真空环境中相互碰撞的几率，有利于真空值的量值传递；微调阀能准确调节校准室真空值到选定的校准点并保持稳定，提高工作效率，降低能耗；校准室在赤道位置通过法兰连接电容薄膜真空计、电离真空计作为工作标准，实现高真空计和低真空计的校准；该校准室设计先进，结构合理，能提高真空计量技术水平；采用便携式球形结构，方便在现场使用，能开展真空计的在线校准工作。

附图说明

图1是真空计在线校准室主视图。

图2是真空计在线校准室左视图。