[发明专利]一种真空计在线校准室在审
| 申请号： | 201710367379.3 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108956007A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 欧雷;匡锐丹;童刚;辜亮波;卫婧逸;严小锐 | 申请（专利权）人： | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 成飞(集团)公司专利中心 51121 | 代理人： | 梁义东 |
| 地址： | 610092*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 球形校准室 微调阀 真空计 在线校准 标准真空计 测试口 法兰 低真空计 连接法兰 气体分子 球形结构 现场使用 真空环境 真空计量 真空设备 赤道线 出气口 校准 圆球 底端 技术水平 传递 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空计在线校准室，其特征在于，包括球形校准室（1）、微调阀（8）和标准真空计，球形校准室（1）在圆球的赤道线上设置4个测试口（4），标准真空计通过测试口与球形校准室（1）连接；球形校准室（1）的顶端设有法兰，微调阀（8）通过法兰与球形校准室（1）连接，微调阀（8）的出气口通大气；球形校准室（1）的底端设有连接法兰（3），与真空设备相连接。
2.根据权利要求1所述一种真空计在线校准室，其特征在于，所述微调阀（8）的进气口与球形校准室（1）连接法兰为KF法兰。
3.根据权利要求1所述一种真空计在线校准室，其特征在于，所述球形校准室（1）连接的标准真空计，包括电容薄膜真空计（5）和电离真空计（6）。
4.根据权利要求3所述一种真空计在线校准室，其特征在于，所述电离真空计（6）在校准高于10-2Pa的真空值时选用作为标准真空计。
5.根据权利要求3所述一种真空计在线校准室，其特征在于，所述电容薄膜真空计（5）在校准低于10-2Pa的真空值时选用作为标准真空计。
6.根据权利要求1所述一种真空计在线校准室，其特征在于，所述球形校准室（1）材料为不锈钢。
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