[发明专利]制备阴极环防反射膜用的掩膜及其使用方法

权利要求书

1.一种制备阴极环防反射膜用的掩膜，其特征在于，包括掩膜版，所述掩膜版为合金板；所述掩膜版上设有对应显示器（1）上显示区（3）的遮挡部（10）、对应显示器（1）上阴极环（2）的镂空部（20），所述遮挡部（10）位于所述掩膜版的中部，所述镂空部（20）环绕在所述遮挡部（10）的外围；

位于所述镂空部（20）外围的掩膜版部分形成所述掩膜版的外圈部（30）；所述掩膜版上还设有加强筋（40）；所述加强筋（40）穿过所述镂空部（20）连接在所述遮挡部（10）和外圈部（30）之间；所述加强筋（40）的宽度为阴极环宽度的50%-500%；

所述遮挡部（10）的形状为矩形，所述镂空部（20）包括四个环绕在所述遮挡部（10）侧边的镂空区（21），所述加强筋（40）位于相邻的所述镂空区（21）之间并连接在所述遮挡部（10）的对角处；每一所述镂空区（21）的两端不伸出其相邻的两个所述镂空区（21）相背的一侧，且所述镂空区（21）的位于所述加强筋（40）两侧的端部均为尖头结构；所述掩膜版上还设有至少一个垫高部（50）；所述垫高部（50）位于所述外圈部（30）上，用于将掩膜版撑高在阴极环（2）上，利用PVD成膜的阴影扩散作用，增大防反射膜图案在所述加强筋（40）遮挡处的扩散区域，使得防反射膜在被所述加强筋（40）遮挡的区域处相互扩散重叠；

所述掩膜版制作时：

在合金板上旋涂光刻胶，并将掩模版图案光刻在合金板上；掩模版图案包括对应遮挡部（10）的遮挡区、对应外圈部（30）的边缘区以及对应加强筋（40）的连接区，连接区连接在遮挡区和边缘区之间；

用干法或湿法刻蚀将合金板上没有光刻胶的部分刻穿，刻穿部分形成镂空部（20），制得掩模版。

2.根据权利要求1所述的掩膜，其特征在于，所述镂空部（20）的宽度为阴极环（2）宽度的50%-500%。

3.根据权利要求1所述的掩膜，其特征在于，每一所述镂空区（21）呈一字形。

4.一种权利要求1-3任一项所述的掩膜的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将掩膜版放置在显示器（1）上；其中，所述掩膜版的遮挡部（10）遮挡在显示器（1）的显示区（3）上，镂空部（20）对应在显示器（1）的阴极环（2）处；

S2、将防反射膜材料透过所述镂空部（20）沉积在所述阴极环（2）上，形成厚度为1000Å的防反射膜（4）。