[发明专利]基板搬送装置

说明书

本发明提供基板搬送装置，能够利用各垫尽可能均匀地承受基板的重量，进而能够使垫与基板的接触面积增加，即便使搬送速度变快也能够进行稳定的搬送。一种基板搬送装置，其具有：搬送用机器人，其对基板(1)进行搬送；手(2)，其设置在该搬送用机器人上；以及垫(3)，其设置在该手(2)的上表面，对所述基板(1)下表面的外周部进行支承，其中，在所述手(2)的上表面上设置有多个所述垫(3)以便对所述基板(1)进行多点支承，在该垫(3)上设置有与所述基板(1)接触而挠曲变形的可动片部(4)。

技术领域

本发明涉及基板搬送装置。

背景技术

在真空装置内在基板的搬送中使用的搬送用机器人的手的与基板接触的接触部上设置有树脂制的垫(参照专利文献1等)。

但是，当使搬送用机器人的基板搬送速度变快等而对基板施加比垫与基板之间产生的摩擦力(最大静摩擦力)大的动能(力)时，因基板滑落而无法进行搬送。特别是在机器人转弯时容易产生基板的滑落。

为了防止搬送时的基板的滑落而设置多个垫，但基板的歪斜或保持基板时的挠曲每次不同，有时基板的一部分因没有与垫接触而浮起等，很难使全部的垫均匀地承受基板的重量，由于现状是载荷不均匀地施加在一部分的垫上，所以需要使每一个垫的最大静摩擦力变大。

专利文献1：日本特开2000-277585号公报

发明内容

本发明是鉴于上述那样的现状而完成的，提供一种基板搬送装置，能够通过在垫上分别设置能够挠曲变形的可动片部来吸收因每张基板的歪斜或挠曲而导致的接触不均，从而能够由各垫尽可能均匀地承受基板的重量，进而能够使垫与基板的接触面积增加，即便使搬送速度变快也能够进行稳定的搬送。

一种基板搬送装置，其具有：搬送用机器人，其对基板进行搬送；手，其设置在该搬送用机器人上；以及垫，其设置在该手的上表面，对所述基板的下表面的外周部进行支承，该基板搬送装置的特征在于，在所述手的上表面上设置有多个所述垫，以便对所述基板进行多点支承，在该垫上设置有可动片部，该可动片部与所述基板接触而挠曲变形。

由于本发明如上述那样构成，所以能够通过在垫上分别设置能够挠曲变形的可动片部来吸收因每张基板的歪斜或挠曲而导致的接触的不均，从而能够利用各垫尽可能均匀地承受基板的重量，进而能够使垫与基板的接触面积增加，成为即便使搬送速度变快也能够进行稳定的搬送的基板搬送装置。

附图说明

图1是本实施例的概略说明俯视图。

图2是将本实施例的一部分切去后的放大概略说明侧视图。

图3是本实施例的放大概略说明侧视图。

图4是其他例1的放大概略说明侧视图。

图5是其他例1的放大概略说明侧视图。

图6是其他例2的放大概略说明侧视图。

图7是其他例2的放大概略说明侧视图。

标号说明

1：基板；2：手；3：垫；4：可动片部；5：突出片；6：芯层；7：弹性层。

具体实施方式

根据附图对本发明的优选的实施方式进行简单地说明而示出本发明的作用。

由搬送用机器人的手2接收基板1，在将所接收的基板1搬送到搬送场所时，能够由设置在手2的上表面的各垫3尽可能均匀地承受基板1的重量。