[发明专利]自居中底座加热器

权利要求书

1.一种底座，包括：

主体；

加热器，嵌入在所述主体中；

支撑凹槽，在所述主体内形成，具有安置在第一平面中的表面；

周边表面，安置在第二平面中，包围所述支撑凹槽；以及

多个定心凸片，定位在所述支撑凹槽与所述周边表面之间，每个所述定心凸片从第一倾斜表面延伸并耦接到所述周边表面，且具有安置在第三平面中的平坦表面，所述第三平面在所述第一平面和所述第二平面之间，其中所述第一倾斜表面在所述第二平面与所述第三平面之间延伸，且每个所述定心凸片具有在所述第三平面与所述第一平面之间延伸的第二倾斜表面，且其中所述第二倾斜表面尺寸设定为在基板的边缘支撑所述基板。

2.如权利要求1所述的底座，其特征在于，所述第一平面和所述第二平面具有0.002英寸或更小的平行度。

3.如权利要求1所述的底座，其特征在于，所述第二倾斜表面包括相对于所述第一平面的50度到75度的角度。

4.如权利要求1所述的底座，其还包括在所述周边表面与所述定心凸片的所述表面之间的通道。

5.如权利要求4所述的底座，其特征在于，所述通道包围所述支撑凹槽。

6.如权利要求5所述的底座，其特征在于，所述通道具有基本上相同的宽度。

7.如权利要求4所述的底座，其特征在于，所述通道包括周壁。

8.如权利要求7所述的底座，其特征在于，所述周壁相对于所述周边表面正交地取向。

9.如权利要求7所述的底座，其特征在于，所述周壁相对于所述周边表面成角度。

10.如权利要求9所述的底座，其特征在于，每个所述定心凸片具有倾斜表面，所述倾斜表面在所述第二平面与所述第三平面之间延伸，并且所述倾斜表面的角度和所述周壁的角度基本上相同。

11.一种底座，包括：

主体；

嵌入式加热器，安置在所述主体中；

支撑凹槽，在所述主体内形成，具有安置在第一平面中的表面；

周边表面，安置在第二平面中，包围所述支撑凹槽，平行于所述第一平面；以及

多个定心凸片，定位在所述支撑凹槽与所述周边表面之间，每个所述定心凸片具有安置在第三平面中的表面，所述第三平面在所述第一平面和所述第二平面两者之间并与所述第一平面和所述第二平面相交，并且间隙在每个所述定心凸片之间形成，所述间隙具有基本上相同的宽度，其中每个所述定心凸片具有在所述第三平面与所述第一平面之间延伸的第一倾斜表面，且其中所述第一倾斜表面尺寸设定为通过基板的边缘支撑所述基板。

12.如权利要求11所述的底座，其特征在于，所述第一平面和所述第二平面具有0.002英寸或更小的平行度。

13.如权利要求11所述的底座，其特征在于，所述间隙包括周壁。

14.如权利要求13所述的底座，其特征在于，所述周壁相对于所述周边表面正交地取向。

15.如权利要求13所述的底座，其特征在于，所述周壁相对于所述周边表面成角度。

16.如权利要求15所述的底座，其特征在于，每个所述定心凸片具有第二倾斜表面，所述第二倾斜表面在所述第二平面与所述第三平面之间延伸，并且所述第二倾斜表面的角度和所述周壁的角度基本上相同。