[发明专利]柔性气体传感器与其制作方法

权利要求书

1.一种柔性气体传感器，其特征在于，所述柔性气体传感器包括：

柔性基底(1)；

感应模块(2)，设置在所述柔性基底(1)的第一表面上，用于感知气体并将产生的气体信号输出；以及

控制及处理电路模块(3)，设置在所述第一表面上，且与所述感应模块(2)电连接，用于控制所述感应模块(2)的工作以及对所述感应模块(2)输出的所述气体信号进行处理。

2.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述感应模块(2)包括：

感应膜(21)，所述感应膜(21)的原料包括气敏感知金属氧化物，用于感知气体并产生气体信号；以及

感应电极膜(22)，与所述控制及处理电路模块(3)以及所述感应膜(21)电连接，用于向所述感应膜(21)输入电信号并将所述感应膜(21)产生的所述气体信号输出。

3.根据权利要求2所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述气敏感知金属氧化物包括WO₃、SnO₂与ZnO中的一种或者多种。

4.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述控制及处理电路模块(3)包括：

控制电路膜(31)，与所述感应模块(2)的输入端电连接，用于控制所述感应模块(2)的工作；以及

信号处理电路膜(32)，与所述感应模块(2)的输出端电连接，用于对所述感应模块(2)输出的所述气体信号进行处理。

5.根据权利要求4所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述柔性气体传感器包括连接导线，所述连接导线包括纳米银丝。

6.根据权利要求4所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述信号处理电路膜(32)包括OTFT阵列。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述柔性基底(1)为PET基底、PVA基底、PEN基底或PI基底。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的柔性气体传感器，其特征在于，所述柔性气体传感器还包括：

电源模块，与所述控制及处理电路模块(3)以及所述感应模块(2)电连接，用于向所述控制及处理电路模块(3)与所述感应模块(2)供电；以及

显示模块，与所述控制及处理电路模块(3)电连接，用于显示包括气体浓度的以及气体成分的数据。

9.一种柔性气体传感器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

在柔性基底的第一表面上设置感应模块，所述感应模块用于感知气体并将产生的气体信号输出；以及

在所述第一表面上设置控制及处理电路模块，所述控制及处理电路模块与所述感应模块电连接，所述控制及处理电路模块用于控制所述感应模块的工作以及对所述感应模块输出的所述气体信号进行处理。

10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述感应模块包括感应膜与感应电极膜，所述感应模块的制作过程包括：

采用喷墨打印法在所述第一表面上打印感应电极膜；以及

采用喷墨打印法将包括气敏感知金属氧化物的墨水打印在所述感应电极膜的远离所述第一表面的表面上形成感应膜，所述感应膜用于感知气体并产生气体信号，所述感应电极膜用于将向所述感应膜输入电信号并将所述感应膜产生的所述气体信号输出，优选所述气敏感知金属氧化物包括WO₃、SnO₂与ZnO中的一种或者多种。