[发明专利]带检测和安全保护的杜瓦结构在审

专利信息
申请号: 201710137801.6 申请日: 2017-03-09
公开(公告)号: CN106813097A 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 谢鹏飞;蒋健伟;孙正乾 申请(专利权)人: 无锡盈芯半导体科技有限公司
主分类号: F17C1/12 分类号: F17C1/12;F17C13/02;F17C13/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 曹祖良,刘海
地址: 214187 江苏省无锡市惠山*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 检测 安全 保护 结构
【权利要求书】:

1.一种带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:包括杜瓦罐体,杜瓦罐体内具有与外界隔离的内腔;在所述杜瓦罐体上设置注入口和排气口,低温液态介质由注入口注入内腔中,内腔内的气体由排气口排出;在所述杜瓦罐体上设置用于连接冷阱的冷阱适配接口,在杜瓦罐体上设置用于检测内腔压力和低温液态介质液位高度的状态检测系统、以及用于将内腔多余压力排出的泄压系统。

2.如权利要求1所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述状态检测系统包括用于检测内腔压力的压力传感器和用于检测低温液态介质液位高度的液位计。

3.如权利要求2所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述状态检测系统还包括用于实时显示内腔压力的压力指示表。

4.如权利要求1所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述泄压系统包括多个分别对应于相应泄压值的泄压装置。

5.如权利要求3所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述泄压系统包括对应第一泄压值的泄压阀和对应于第二泄压值的爆破片,第二泄压值大于第一泄压值。

6.如权利要求3所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述泄压系统包括对应于第一泄压值的泄压阀、对应于第二泄压值的机械式泄压阀和对应于第三泄压值的爆破片,第三泄压值>第二泄压值>第一泄压值。

7.如权利要求1所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述杜瓦罐体为一个整体,或者由主罐和上盖通过锁紧机构连接而成。

8.如权利要求1所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述杜瓦罐体包括杜瓦外筒体和杜瓦内筒体,在杜瓦外筒体和杜瓦内筒体之间的夹层设置绝热层,杜瓦外筒体和杜瓦内筒体之间的夹层通过真空抽口对绝热层进行抽真空。

9.如权利要求1所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述冷阱通过冷阱适配接口采用活动连接或者固定连接的方式与杜瓦罐体连接。

10.如权利要求1所述的带检测和安全保护的杜瓦结构,其特征是:所述低温液态介质采用常温常压下呈气态,常压下沸点低于253K的物质,优选惰性物质。

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