[发明专利]一种防氧化的P型PERC双面太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 201710126672.0 | 申请日: | 2017-03-03 |
公开(公告)号: | CN106887479A | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 何达能;方结彬;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人: | 高文龙 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化 perc 双面 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种防氧化的P型PERC双面太阳能电池,包括自下而上依次设置的背电极、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极,所述的正银电极由材料为银的正银主栅电极和材料为银的正银副栅电极组成,正银副栅电极与正银主栅电极相垂直,所述的背电极由材料为银的背银主栅电极和材料为铝的背铝副栅电极组成,背铝副栅电极和背银主栅电极相垂直,所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的激光开槽区,激光开槽区内印刷灌注铝浆料,形成背铝条,背铝副栅电极与激光开槽区内的背铝条一体印刷成型,背铝副栅电极通过背铝条与P型硅相连,其特征在于:所述正银主栅电极、正银副栅电极、背银主栅电极和背铝副栅电极的外表面均印刷一层导电胶,形成导电胶膜。
2.如权利要求1所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述导电胶膜的宽度为20~500微米。
3.如权利要求1所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述导电胶膜的高度为1~10微米。
4.如权利要求1所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述背面氮化硅膜的厚度为20~250nm,所述背面氧化铝膜的厚度为2~30nm。
5.如权利要求1所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述背铝副栅电极的根数为30~500条。
6.如权利要求1所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述背银主栅电极为连续直栅线或分段栅线。
7.如权利要求2所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述激光开槽区为多个,激光开槽区的图案为线段式或直线式或点线式或圆点式。
8.如权利要求8所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述激光开槽区的宽度为10~500微米,相邻激光开槽区之间的间距为0.5~10mm。
9.如权利要求1至8任一项所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述背电极的外围还印刷一圈材质为铝的铝栅外框,所述铝栅外框分别与对应的背银主栅电极和背铝副栅电极相连接,所述的铝栅外框用于给电子多提供一条传输路径。
10.如权利要求1至9任一项所述的防氧化的P型PERC双面太阳能电池的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
(1)在硅片正面和背面形成绒面,所述硅片为P型硅;
(2)在所述硅片正面进行扩散,形成N型硅,即N型发射极;
(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结;
(4)对硅片背面进行抛光;
(5)在硅片背面沉积背面氧化铝膜;
(6)在氧化铝膜的背面沉积背面氮化硅膜;
(7)在N型硅的正面沉积正面氮化硅膜;
(8)对硅片背面进行激光开槽,开通背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至硅片,形成激光开槽区;
(9)在所述硅片背面采用丝网印刷来印刷背电极的背银主栅电极;
(10)在所述硅片背面采用丝网印刷来印刷背铝副栅电极,在印刷背铝副栅电极的同时在激光开槽区内印刷铝浆料,形成背铝条,背铝条与背铝副栅电极一体印刷成型;
(11)在背银主栅电极和背铝副栅电极的外表面印刷导电胶;
(12)在所述正面氮化硅膜的正面采用丝网印刷或喷墨方式印刷正电极浆料,形成正银主栅电极和正银副栅电极;
(13)在正银主栅电极和正银副栅电极的外表面印刷导电胶;
(14)对硅片进行高温烧结,形成背电极和正银电极;
(15)对硅片进行抗LID退火处理,形成太阳能电池;其中,步骤(4)也可以省去。
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