[发明专利]通过光学辐射的方式在透明物质中制造切面

权利要求书

1.一种用于在透明物质中制造切面的处理设备，所述处理设备包括：

-激光装置，其适于通过光学辐射的方式在所述透明物质中产生切面，所述激光装置包括：

-光学装置，其将光学辐射沿着光轴聚焦到位于所述透明物质中的焦点上，并且在所述透明物质中具有像场，所述焦点位于所述像场中，

-用于横向于所述光轴和沿着所述光轴移动所述焦点的位置的焦点调节装置，其中所述焦点调节装置包括用于沿着所述光轴移动所述焦点的位置的双台z扫描器，所述双台z扫描器包括实施慢长行程焦点移位的慢台和实施快速短行程焦点移位的快台，和

-控制装置，所述控制装置连接至所述激光装置和控制所述激光装置，使得所述焦点调节装置沿着路径移动光学辐射的焦点在所述透明物质中的位置，其中所述控制装置控制激光装置，使得所述切面大体平行于所述光轴延伸，并且在沿着光轴的投影中是曲线，所述曲线具有最大范围，

其中所述控制装置还被设计使得所述控制装置控制所述双台z扫描器的双台同时动作。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述慢台和所述快台在空间上是独立的。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述激光装置具有基部、可移动远端部以及柔性的或活节连接的光学透射装置，所述光学透射装置连接所述基部和所述远端部，其中所述基部将激光辐射作为非准直束耦合到所述透射装置中，所述透射装置将所述非准直束透射至所述远端部，所述远端部具有物镜，所述物镜接收所述非准直束并且将其聚焦到眼睛中。

4.根据权利要求1、2或3所述的设备，其中用于移动焦点的位置的所述焦点调节装置还包括用于横向于所述光轴移动所述焦点的位置的另一扫描器，并且所述控制装置还被设计使得所述控制装置控制所述双台z扫描器和另一扫描器，以使它们彼此同步动作。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述双台z扫描器布置在基部中，所述另一扫描器包括致动器，所述致动器用于通过横向于光轴推移物镜而横向于所述光轴移动所述焦点的位置，所述另一扫描器还包括发散修改装置，所述发散修改装置修改非准直束的发散或会聚，其中另外所述控制装置被设计成使得其以与用于推移所述物镜的致动器同步的方式控制所述发散修改装置。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述发散修改装置被布置在所述基部中。

7.根据权利要求5所述的设备，其中所述发散修改装置具有伸缩镜和对伸缩镜加以调整的致动器。

8.根据权利要求3所述的设备，其中所述双台z扫描器改变所述非准直束的路径长度。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述双台z扫描器包括可推移的转角镜。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述双台z扫描器具有用于周期性地改变路径长度的振荡产生装置。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述振荡产生装置是振荡器元件或者被安装在旋转盘上的多个转角镜。

12.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制装置控制所述激光装置，使得所述焦点调节装置沿着曲线横向于光轴移动所述焦点的位置，并且在沿着曲线的移动期间，沿着光轴在上轴向焦点位置和下轴向焦点位置之间振动式地移动所述焦点的位置。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述控制装置在沿着曲线的移动期间改变所述上轴向焦点位置和下轴向焦点位置。