[发明专利]镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置

权利要求书

1.一种镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：包括炉体、内炉管、旋转支架及真空装置，所述炉体内设有容纳所述内炉管的空腔，所述内炉管设置在所述炉体的内部空腔内，所述内炉管内设有用于盛装镁粉的空腔，所述旋转支架沿着所述炉体、所述内炉管的长度方向贯穿于所述炉体、所述内炉管的内部，所述旋转支架包括夹持钽酸锂晶片的支架体，且旋转支架能相对于炉体及内炉管旋转，以使镁蒸气均匀地接触每片所述钽酸锂晶片，进而保证镁蒸气均匀地还原所有所述钽酸锂晶片，所述真空装置与所述内炉管内的空腔连通，以通过对所述内炉管的内腔抽真空使炉体内的镁粉能在较低的加热温度下气化，生成镁蒸气。

2.如权利要求1所述的镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：所述炉体包括外壳，所述外壳包括筒体、左端盖、右端盖，所述筒体为一较大直径的空心筒体，所述左端盖、右端盖分别与所述筒体的左端和右端固定连接，以与所述筒体共同构成一封闭的外壳，所述内炉管设置在所述筒体内，所述内炉管包括管体、电阻丝和两个炉管法兰盖，所述管体为一较小直径的空心筒体，所述管体与所述筒体同轴设置，所述电阻丝用于与供电装置电性连接，以作为升温热源，所述电阻丝螺旋绕设在所述管体的外壁，以通过所述电阻丝的加热提升所述内炉管内的温度，所述管体的左、右两端分别与两个所述炉管法兰盖密封连接，在所述内炉管内撒入镁粉，以使所述镁粉受热气化时生成的镁蒸气分布在所述内炉管内。

3.如权利要求2所述的镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：所述炉体还包括保温层，所述保温层为夹持在所述筒体的内壁与所述内炉管的外壁之间的空心的厚筒体，所述保温层的侧面外壁的形状与所述筒体的内壁相适配，以使所述筒体套设在所述保温层的外侧，所述保温层开设有左右贯通的内炉管装配孔，所述内炉管穿入所述内炉管装配孔内，所述内炉管的外壁与所述内炉管装配孔的内壁固定连接，以防止热量从盘绕的所述电阻丝的外侧散失。

4.如权利要求3所述的镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：所述管体和所述炉管法兰盖均由石墨制成，以在保证所述管体和所述炉管法兰盖在真空中较好的耐热性能和导热性能的前提下避免制成所述管体和所述炉管法兰盖的材料的表面在空气中形成的氧化膜与还原剂气体发生反应。

5.如权利要求3所述的镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：所述管体的内壁的左右两端均设有密封管内螺纹，所述炉管法兰盖的连接部对应设置有密封管外螺纹，所述炉管法兰盖通过所述连接部的密封管外螺纹与所述管体密封连接。

6.如权利要求3所述的镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：所述真空装置包括外抽空管、若干外抽空支管、若干布气支管、布气管，所述外抽空管平行设置在所述筒体的上方，所述外抽空管的一端用于与外部抽真空驱动连接，所述外抽空管的另一端与若干所述外抽空支管分别连接，若干所述外抽空支管的上端均与所述外抽空管的另一端的管壁下侧垂直连接，所述筒体的侧壁上设置有若干接管法兰，每个所述接管法兰都位于其中一个所述外抽空支管的正下方，且每个所述接管法兰都与其中一个所述外抽空支管的下端密封连接，每个所述布气支管依次垂直地穿过所述管体、所述保温层、所述筒体，且每个所述布气支管都位于其中一个所述接管法兰的正下方，每个所述布气支管的上端外壁都与所述筒体的对应的开孔处密封连接，每个所述布气支管的上端都与所述接管法兰连通，每个所述布气支管的下端外壁都与所述管体的对应的开孔处密封连接，若干所述布气支管均与所述布气管的管壁上端垂直连接并连通，所述布气管沿着所述内炉管的长度方向设置在所述管体的内部，所述布气管的管壁下端开设有若干吸气孔，且若干所述吸气孔间的距离相等，以保证镁蒸气由下向上均匀地流过若干所述钽酸锂晶片的表面。