[发明专利]一种超分辨可溯源的白光干涉原子力探针标定装置及标定方法有效
| 申请号： | 201710065121.8 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN106940389B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 卢文龙;杨文军;刘晓军;胡迟;周莉萍 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 标定 白光干涉 标定装置 原子力探针 超分辨 溯源 垂直位移 定位算法 计量系统 零级条纹 探针产生 条纹位置 弯曲模型 形变 扫描显微镜 干涉条纹 核心技术 扫描探针 探针悬臂 准确测量 原子力 拟合 | ||
【说明书】：
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