[发明专利]光检测装置以及光检测系统有效

专利信息
申请号: 201710040480.8 申请日: 2017-01-19
公开(公告)号: CN107271057B 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 西胁青儿;鸣海建治;盐野照弘 申请(专利权)人: 松下知识产权经营株式会社
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 齐秀凤
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置 以及 系统
【权利要求书】:

1.一种光检测装置,具备:

光检测器,具有主面,包含沿着所述主面配置的多个第1检测器以及多个第2检测器;

光耦合层,配置在所述光检测器上或者上方;以及

遮光膜,配置在所述光耦合层上,

所述光耦合层包含:

第1低折射率层;

第1高折射率层,配置在所述第1低折射率层上,包含第1光栅;以及

第2低折射率层,配置在所述第1高折射率层上,

所述第1高折射率层具有比所述第1低折射率层以及所述第2低折射率层高的折射率,

所述遮光膜包含:透光区域、以及与所述透光区域相邻的遮光区域,

所述透光区域与所述多个第1检测器中包含的两个以上的第1检测器对置,

所述遮光区域与所述多个第2检测器中包含的两个以上的第2检测器对置,

所述第1光栅包含:多个沟槽,分别在第1方向上延伸,

在俯视下,

所述第1方向上的所述透光区域的长度短于与所述第1方向垂直的第2方向上的所述透光区域的长度,

所述第1方向上的所述遮光区域的长度短于所述第2方向上的所述遮光区域的长度。

2.根据权利要求1所述的光检测装置,其中,

在所述遮光膜配备多个透光区域,所述多个透光区域分别为所述透光区域,

在所述遮光膜配备多个遮光区域,所述多个遮光区域分别为所述遮光区域。

3.根据权利要求1所述的光检测装置,其中,

所述光检测器还包含:

多个第1微透镜,分别配置在所述多个第1检测器之中的对应的第1检测器与所述光耦合层之间;以及

多个第2微透镜,分别配置在所述多个第2检测器之中的对应的第2检测器与所述光耦合层之间。

4.根据权利要求1所述的光检测装置,其中,

所述光耦合层还包含:

第3低折射率层,配置在所述第1低折射率层与所述光检测器之间;以及

第2高折射率层,配置在所述第3低折射率层与所述第1低折射率层之间,包含第2光栅,

所述第2高折射率层具有比所述第1低折射率层以及所述第3低折射率层高的折射率。

5.根据权利要求1所述的光检测装置,其中,

所述遮光区域的两个表面之中靠近所述光耦合层的表面具有光反射性。

6.一种光检测系统,具备:

光检测装置;以及

运算电路,与所述光检测装置连接,

所述光检测装置包含:

光检测器,具有主面,包含沿着所述主面配置的多个第1检测器以及多个第2检测器;

光耦合层,配置在所述光检测器上或者上方;以及

遮光膜,配置在所述光耦合层上,

所述光耦合层包含:

第1低折射率层;

第1高折射率层,配置在所述第1低折射率层上,包含第1光栅;以及

第2低折射率层,配置在所述第1高折射率层上,

所述第1高折射率层具有比所述第1低折射率层以及所述第2低折射率层高的折射率,

所述遮光膜包含:透光区域、以及与所述透光区域相邻的遮光区域,

所述透光区域与所述多个第1检测器中包含的两个以上的第1检测器对置,

所述遮光区域与所述多个第2检测器中包含的两个以上的第2检测器对置,

所述第1光栅包含:多个沟槽,分别在第1方向上延伸,

在俯视下,

所述第1方向上的所述透光区域的长度短于与所述第1方向垂直的第2方向上的所述透光区域的长度,

所述第1方向上的所述遮光区域的长度短于所述第2方向上的所述遮光区域的长度,

所述运算电路在将由所述两个以上的第1检测器检测的光量之和设为第1光量且将由所述两个以上的第2检测器检测的光量之和设为第2光量时,输出从下述组之中选择的至少一个信号,该组构成为包括:

第1信号,表示所述第2光量相对于所述第1光量的比;

第2信号,表示所述第1光量相对于所述第1光量与所述第2光量之和的比例;以及

第3信号,表示所述第2光量相对于所述第1光量与所述第2光量之和的比例。

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