[发明专利]一种具有梯度功能的扇形组合式研抛盘

权利要求书

1.一种具有梯度功能的扇形组合式研抛盘，其特征在于：包括研抛盘基座、将研抛盘本体分割成的一级扇形模块和二级扇形模块，所有的一级扇形模块和二级扇形模块形成具有多个梯度的等级库，等级库内一级扇形模块和二级扇形模块均具有弹性模量从加工需求最低的弹性模量到加工要求最高的弹性模量的多组，由数个一级扇形模块和数个二级扇形模块组合拼接在研抛盘基座上形成完整的研抛盘。

2.根据权利要求1所述的一种具有梯度功能的扇形组合式研抛盘，其特征在于：上述任意一个一级扇形模块或二级扇形模块在径向上划分成若干弹性模量不同的环形区域。

3.根据权利要求1所述的一种具有梯度功能的扇形组合式研抛盘，其特征在于：上述任意一个一级扇形模块或二级扇形模块均由若干层粘磨层堆积而成，且每层粘磨层的弹性模量均不相同。

4.根据权利要求2或3所述的一种具有梯度功能的扇形组合式研抛盘，其特征在于：所述二级扇形模块分割成若干三级扇形模块，所有的三级扇形模块并入所述等级库内形成更加细化的等级库，所述三级扇形模块的弹性模量在径向或轴向呈现出弹性模量的梯度式分布。

5.根据权利要求4所述的一种具有梯度功能的扇形组合式研抛盘，其特征在于：所述等级库内所有一级扇形模块的大小尺寸完全相同，所有二级扇形模块的大小尺寸完全相同，所有三级扇形模块的大小尺寸完全相同。